[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體材料電阻率和塞貝克系數(shù)的測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201521100404.4
• 申請(qǐng)日: 2015-12-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205229306U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊希安;榮振洲;江程鵬;張城誠(chéng);李光強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 武漢科技大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01R27/02
• 分類(lèi)號(hào): G01R27/02;G01N25/20
• 代理公司: 武漢科皓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 42222
• 代理人: 張火春

1.一種半導(dǎo)體材料電阻率和塞貝克系數(shù)的測(cè)量裝置，其特征在于所述測(cè)量裝置由升降系統(tǒng)、水平移動(dòng)系統(tǒng)和測(cè)量系統(tǒng)組成；

所述升降系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是：

底板(1)的上表面后側(cè)對(duì)稱(chēng)地固定有兩根方形鋼管(2)，方形鋼管(2)內(nèi)由下往上依次裝有下軸承、螺母式滑塊(8)、上軸承和端蓋(10)，豎直絲桿(7)的下端安裝在下軸承內(nèi)，豎直絲桿(7)的中部與螺母式滑塊(8)螺紋連接，豎直絲桿(7)的上端穿出上軸承和端蓋(10)與上手輪(11)固定連接；兩根方形鋼管(2)的前側(cè)沿豎直方向開(kāi)有條形孔(6)，兩根水平桿(9)的一端分別穿過(guò)對(duì)應(yīng)的兩根方形鋼管(2)的條形孔(6)與螺母式滑塊(8)固定連接，兩根水平桿(9)的另一端與對(duì)應(yīng)的熱端電極(12)和冷端電極(24)的上表面固定連接；

熱端電極(12)的結(jié)構(gòu)是：熱端電極殼體(28)內(nèi)裝有熱端可伸縮式電位探針(29)、熱端熱電偶(26)和單頭加熱器(27)；熱端可伸縮式電位探針(29)位于熱端電極殼體(28)的前部右側(cè)，熱端熱電偶(26)位于熱端電極殼體(28)的前部左側(cè)，單頭加熱器(27)固定在熱端電極殼體(28)的中間位置處，熱端可伸縮式電位探針(29)的針尖向下伸出熱端電極殼體(28)，熱端可伸縮式電位探針(29)的針尖伸出熱端電極殼體(28)的長(zhǎng)度為5~8mm；

冷端電極(24)的結(jié)構(gòu)是：冷端電極殼體(31)內(nèi)裝有冷端可伸縮式電位探針(30)和冷端熱電偶(32)；冷端可伸縮式電位探針(30)位于冷端電極殼體(31)的前部左側(cè)，冷端熱電偶(32)位于冷端電極殼體(31)的前部右側(cè)，冷端可伸縮式電位探針(30)的針尖向下伸出冷端電極殼體(31)，冷端可伸縮式電位探針(30)的針尖伸出冷端電極殼體(31)的長(zhǎng)度為5~8mm；

所述水平移動(dòng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是：

底板(1)的上表面沿前后方向固定有兩根相互平行的第一滑軌(21)，兩根第一滑軌(21)上對(duì)稱(chēng)地裝有兩塊第一滑塊(3)，四塊第一滑塊(3)的上表面固定有一塊第一絕緣板(20)，兩根第二滑軌(19)沿左右方向平行地固定在第一絕緣板(20)的上表面，兩根第二滑軌(19)上對(duì)稱(chēng)地裝有兩塊第二滑塊(4)，四塊第二滑塊(4)的上表面固定有一塊第二絕緣板(18)，兩根第三滑軌(17)沿左右方向平行地固定在第二絕緣板(18)的上表面，兩根第三滑軌(17)上對(duì)稱(chēng)地裝有兩塊第三滑塊(5)，第三滑塊(5)的上表面左右對(duì)稱(chēng)地裝有第三絕緣板(16)，兩塊第三絕緣板(16)上對(duì)稱(chēng)地裝有夾持電極(13)；第二絕緣板(18)的左右兩端處對(duì)稱(chēng)地裝有固定桿(15)，固定桿(15)上端設(shè)有螺紋孔，水平絲桿(25)與固定桿(15)的螺紋孔螺紋連接，水平絲桿(25)的一端裝有下手輪(14)，水平絲桿(25)的另一端裝有圓盤(pán)(22)，圓盤(pán)裝在夾持電極(13)的外側(cè)卡槽(23)內(nèi)；

所述測(cè)量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是：

一塊夾持電極(13)與直流脈沖電源(33)的一個(gè)輸出端連接，另一塊夾持電極(13)通過(guò)高精度數(shù)字電流表(38)與直流脈沖電源(33)的另一個(gè)輸出端連接；熱端可伸縮式電位探針(29)和冷端可伸縮式電位探針(30)與高精度數(shù)字電壓表(34)的正極和負(fù)極對(duì)應(yīng)連接，熱端熱電偶(26)和冷端熱電偶(32)與第一溫度表(35)和第二溫度表(37)對(duì)應(yīng)連接。