[實用新型]一種升華結晶裝置

有效

• 申請號: 201521097346.4
• 申請日: 2015-12-24
• 公開（公告）號: CN205307853U
• 公開（公告）日: 2016-06-15
• 發明（設計）人: 王德寧;許軍;鄒雙林;李小博;朱東林
• 申請（專利權）人: 南京高光半導體材料有限公司
• 主分類號: B01D7/02
• 分類號: B01D7/02
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 唐循文

1.一種升華結晶裝置，其特征在于，包括重力傳感器(1)、升華結晶物料(2)、加熱裝置A (3)、外管(4)、加熱裝置B(5)、裝料裝置(6)及收料裝置(7)；所述加熱裝置A(3)和加熱裝置B (5)包覆于外管(4)的外側，外管(4)內部為真空狀態，且裝料裝置(6)和收料裝置(7)設于外 管(4)內部；裝料裝置(6)底部設有重力傳感器(1)，且升華結晶物料(2)置于重力傳感器(1) 上方。

2.根據權利要求1所述一種升華結晶裝置，其特征在于，重力傳感器(1)與加熱裝置A (3)電性相連。

3.根據權利要求1所述一種升華結晶裝置，其特征在于，所述外管(4)的材質為玻璃。

4.根據權利要求1所述一種升華結晶裝置，其特征在于，所述收料裝置(7)的材質為玻 璃，與裝料裝置(6)連通。

5.根據權利要求1所述一種升華結晶裝置，其特征在于，所述收料裝置(7)與裝料裝置 (6)為管狀結構，且二者口徑相同，相互連通。

6.根據權利要求1所述一種升華結晶裝置，其特征在于，所述裝料裝置(6)的材質為玻 璃。