[實用新型]真空熱壓爐用水冷壓頭

有效

• 申請號: 201521093324.0
• 申請日: 2015-12-25
• 公開（公告）號: CN205300273U
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 王順英;馬強;李世珍;李春輝;張文靜;龍國梁
• 申請（專利權）人: 蘭州真空設備有限責任公司
• 主分類號: F27D9/00
• 分類號: F27D9/00
• 代理公司: 甘肅省知識產權事務中心 62100
• 代理人: 張克勤

技術領域

本實用新型涉及真空熱壓爐技術領域，具體的說是一種具有高溫密封性和高耐壓能力的真空熱壓爐用水冷壓頭。

背景技術

ITO靶材（氧化銦錫靶材）是生產ITO透明導電膜玻璃真空鍍膜的原料，要求在工作壓力50T～300T中壓、10^-1Pa中真空和1600℃～2000℃高溫環境下成型。由于耐高溫高壓壓頭部件是制取高強度ITO靶材設備的必要部件，該部件的密封性和耐熱耐壓能力直接影響設備的正常運行。生產該ITO靶材設備的壓頭承受的最高溫度2200℃，最大壓力630噸，其對壓頭部件的強度和密封需要有更高的要求，必須在保證密封性的同時兼具高強度。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種真空熱壓爐用水冷壓頭，以滿足生產ITO靶材真空熱壓爐的壓頭所承受的高溫、高壓的需求。

為解決上述問題，本實用新型所采取的技術方案為：

一種真空熱壓爐用水冷壓頭，該壓頭貫穿真空熱壓爐爐壁上的安裝短管，它包括壓頭本體、壓蓋，所述壓頭本體分為壓頭上部、壓頭中部和石墨壓頭三部分，壓頭上部與壓頭中部焊接在一起，壓頭中部與石墨壓頭通過法蘭連接在一起，石墨壓頭延伸至真空熱壓爐爐腔內，壓頭中部的中心設有中心冷水管道，壓頭中部的側壁外設有外水套，中心冷水管道的底部通過連通管與外水套相連接，壓蓋與安裝短管的管口通過螺栓相連接。

作為本實用新型的進一步改進，所述外水套的外壁與安裝短管的內壁之間依次填充有兩個密封圈、鋼套。

作為本實用新型的更進一步改進，所述兩個密封圈之間設有隔環。

作為本實用新型的更進一步改進，所述密封圈為V型夾織物橡膠密封圈。

作為本實用新型的更進一步改進，所述壓頭中部與石墨壓頭的連接處設有絕熱棉。

作為本實用新型的更進一步改進，所述中心冷水管道的頂部設有進水管、出水管。

本實用新型在使用時，在中心冷水管道與外水套中注入冷水，既增加了密封圈的冷卻效果，又能降低壓頭本體的溫度。

本實用新型的有益效果為：

（1）本實用新型采用中心冷水管道與外水套的雙水冷形式，既增加了密封圈的冷卻效果，又能降低壓頭本體的溫度，提高了壓頭的耐高溫特性，延長了密封圈的使用壽命；

（2）本實用新型采用耐高壓的V形夾織物橡膠材料的密封圈，保證了壓頭與真空熱壓爐爐腔的真空密封性；

（3）本實用新型在壓頭中部與石墨壓頭的連接處設有絕熱棉，將石墨壓頭與金屬壓頭隔開，由于絕熱棉的抗壓特性，其可以在絕熱的同時確保整體壓頭的強度不受影響，降低了真空熱壓爐在2200℃作業高溫時金屬壓頭端部的溫度，減少了金屬壓頭在高溫時的變形，延長了設備的使用壽命；

（4）本實用新型具有結構緊湊，維護方便的特點。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2密封結構的局部放大示意圖

圖中：1、壓頭本體，2、壓蓋，3、密封圈，4、隔環，5、銅套，6、法蘭，7、絕熱棉，8、石墨壓頭，9、壓頭上部，10、壓頭中部，11、安裝短管，101、中心冷水管道，102、外水套，103、連通管，104、出水管，105、進水管。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。

如圖1所示的一種真空熱壓爐用水冷壓頭，該壓頭貫穿真空熱壓爐爐壁上的安裝短管11，它包括壓頭本體1、壓蓋2,壓頭本體1分為壓頭上部9、壓頭中部10和石墨壓頭8三部分，壓頭上部9與壓頭中部10焊接在一起，壓頭中部10與石墨壓頭8通過法蘭6連接在一起，壓頭中部10與石墨壓頭8的連接處設有絕熱棉7。石墨壓頭8延伸至真空熱壓爐爐腔內，壓頭中部10的中心設有中心冷水管道101，壓頭中部10的側壁外設有外水套102，中心冷水管道101的底部通過連通管103與外水套102相連接，頂部設有進水管105,出水管104。

壓蓋2與安裝短管11的管口通過螺栓相連接。外水套102的外壁與安裝短管11的內壁之間依次填充有兩個V型夾織物橡膠材料的密封圈3、鋼套5。兩個密封圈3之間設有隔環4。

本實用新型在使用時，在中心冷水管道101與外水套102中注入冷水，既增加了密封圈3的冷卻效果，又能降低壓頭本體1的溫度。

本實用新型采用中心冷水管道與外水套的雙水冷形式，既增加了密封圈的冷卻效果，又能降低壓頭本體的溫度，提高了壓頭的耐高溫特性，延長了密封圈的使用壽命；本實用新型采用耐高壓的V形夾織物橡膠材料的密封圈，保證了壓頭與真空熱壓爐爐腔的真空密封性。