[實用新型]四梁結構石英諧振傳感器

有效

• 申請號: 201521092715.0
• 申請日: 2015-12-25
• 公開（公告）號: CN205333677U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 王顯波;王天雄;周祿雄;饒紹兵
• 申請（專利權）人: 四川省三臺水晶電子有限公司
• 主分類號: G01P15/097
• 分類號: G01P15/097
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 李朝虎

1.四梁結構石英諧振傳感器，其特征在于，包括玻璃襯底（7）、位于玻璃襯底上表面的硅基支撐（5），硅基支撐開有一個矩形孔洞，在該矩形孔洞中央設置有壓塊（6），壓塊（6）通過四個懸臂梁（3）分別與矩形孔洞的四個面連接使得壓塊懸空設置，壓塊下方設置有金屬電極（8），壓塊的上端面的面積小于下端面面積，壓塊的下端面面向金屬電極，壓塊的上端面設置有第二硅凸臺（4），壓塊的上端面平行于硅基支撐的上端面，硅基支撐的上端面設置有第一硅凸臺（2），第一硅凸臺（2）和第二硅凸臺（4）上均設置有石英塊（1），兩個石英塊（1）之間設置有2根平行的諧振梁（9）。

2.根據權利要求1所述的四梁結構石英諧振傳感器，其特征在于，所述金屬電極（8）與壓塊下端面之間有3微米的運動間隙。

3.根據權利要求1所述的四梁結構石英諧振傳感器，其特征在于，兩根諧振梁（9）之間有10微米的運動間隙。

4.根據權利要求1所述的四梁結構石英諧振傳感器，其特征在于，第一硅凸臺（2）和第二硅凸臺（4）的上端面高出硅基支撐的上端面40至50微米。

5.根據權利要求1所述的四梁結構石英諧振傳感器，其特征在于，壓塊的橫切面的形狀呈等腰梯形，該等腰梯形的下底邊長于上底邊，下底邊面向金屬電極。

6.根據權利要求1所述的四梁結構石英諧振傳感器，其特征在于，所述諧振梁表面四周設置有電極。

7.根據權利要求1所述的四梁結構石英諧振傳感器，其特征在于，所述懸臂梁（3）和壓塊（6）的中軸線重合。

8.根據權利要求1所述的四梁結構石英諧振傳感器，其特征在于，所述金屬電極的厚度為100微米。

9.根據權利要求1所述的四梁結構石英諧振傳感器，其特征在于，所述懸臂梁采用厚度1mm至5mm的長條型件。