[實用新型]一種壓電陶瓷驅動薄膜式伺服閥

有效

• 申請號: 201521087117.4
• 申請日: 2015-12-23
• 公開（公告）號: CN205207844U
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發明（設計）人: 李華超;路長厚;潘偉;劉自超
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: F16K31/02
• 分類號: F16K31/02;F16K7/14;F15B13/02
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 趙妍

1.一種壓電陶瓷驅動薄膜式伺服閥，其特征在于，包括上閥體和下閥體，上閥體與下 閥體之間設有薄膜，上閥體與薄膜之間形成圓柱形的平衡油腔，薄膜與下閥體之間形成一 個環形的節流油腔，平衡油腔與節流油腔連通，上閥體與平衡油腔之間豎直貫通有頂桿， 頂桿的一端與薄膜間隔設定距離或接觸，另一端設有用于推動頂桿移動的壓電陶瓷。

2.如權利要求1所述的薄膜式伺服閥，其特征在于，在所述上閥體上設有包覆住所述 壓電陶瓷的壓電陶瓷基座。

3.如權利要求2所述的薄膜式伺服閥，其特征在于，所述壓電陶瓷基座上設有用于壓 住所述壓電陶瓷的鎖緊裝置。

4.如權利要求1或2或3所述的薄膜式伺服閥，其特征在于，所述壓電陶瓷與所述頂 桿之間設有金屬球。

5.如權利要求1所述的薄膜式伺服閥，其特征在于，所述壓電陶瓷的兩端均設有墊片。

6.如權利要求3所述的薄膜式伺服閥，其特征在于，所述鎖緊裝置為螺釘，所述壓電 陶瓷與螺釘之間設有頂尖或金屬球。

7.如權利要求1所述的薄膜式伺服閥，其特征在于，所述平衡油腔與所述節流油腔之 間設有以閥中心線而對稱設置的多個通孔。

8.如權利要求1或2或3所述的薄膜式伺服閥，其特征在于，在所述下閥體內設有入 油管路，入油管路的末端連通所述節流油腔底部的中心。

9.如權利要求1-3或5-7中任一項所述的薄膜式伺服閥，其特征在于，所述薄膜的中 部呈中央島形。

10.如權利要求1或2或3所述的薄膜式伺服閥，其特征在于，在所述下閥體內設有與 所述節流油腔相通的出油管路。