[實(shí)用新型]磁控濺射旋轉(zhuǎn)陰極支撐端頭

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201521076527.9
• 申請日: 2015-12-17
• 公開（公告）號: CN205241784U
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳誠;張少波;劉月豹;鐘汝梅;任丹;孔德輝
• 申請（專利權(quán)）人: 安徽方興光電新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 34102
• 代理人: 王琪

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及到一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)陰極支撐端頭。

背景技術(shù)

目前，連續(xù)式真空鍍膜設(shè)備采用的陰極(靶材)包括矩形平面陰極、改良后的移動磁 場平面陰極、旋轉(zhuǎn)陰極。這三種陰極分別存在以下缺陷：

對于第一種陰極而言，由于磁控濺射的獨(dú)特物理過程，使得靶材的利用率較低，一般 情況下，利用率難以超過30％；對于第二種陰極而言，靶材的利用率也很難超過45％；另 外，對于前兩種陰極而言，因非濺射區(qū)的沉積層脫落問題，使得產(chǎn)品品質(zhì)下降、有效生產(chǎn) 時(shí)間縮短。低品質(zhì)和高成本，對于使用前兩種陰極的鍍膜設(shè)備而言，是致命的！

對于第三種陰極而言，用于支撐該陰極的端頭結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不盡合理(如：結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜、 松散、體積龐大等)，無法保證鍍膜工藝的正常、持續(xù)進(jìn)行。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)陰極 支撐端頭，本端頭的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)較為合理(如：結(jié)構(gòu)緊湊、集成化、體積較小等)，真空密封 和冷卻水密封的密封性能穩(wěn)定，有效保證鍍膜工藝的正常、持續(xù)進(jìn)行。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種磁控濺射旋轉(zhuǎn)陰極支撐端頭，它包括磁 性密封件、水封、外殼、空心軸、水道、皮帶、皮帶盤、鎖定銷、屏蔽片、球軸承、環(huán)形 的限位片和承重片；

外殼的軸向第一內(nèi)通孔自上而下依次由第一孔、第二孔、第三孔共軸線連通而成，第 三孔的內(nèi)徑大于第一孔的內(nèi)徑，第一孔的內(nèi)徑大于第二孔的內(nèi)徑，使得第一孔、第二孔之 間形成第一臺階，第二孔、第三孔之間形成第二臺階；

外殼的外側(cè)在位置上對應(yīng)于第二孔處開有與第二孔相通的兩個(gè)第一皮帶孔，兩個(gè)第一 皮帶孔位于軸向第一內(nèi)通孔的軸線的左右兩側(cè)，兩個(gè)第一皮帶孔的軸線均與軸向第一內(nèi)通 孔的軸線相垂直；

外殼的外側(cè)在位置上對應(yīng)于第一孔處開有與第一孔相通的兩個(gè)第一水孔，兩個(gè)第一水 孔位于軸向第一內(nèi)通孔的軸線的左右兩側(cè)，兩個(gè)第一水孔的軸線均與軸向第一內(nèi)通孔的軸 線相垂直；

空心軸的軸向第二內(nèi)通孔自上而下依次由第四孔、第五孔、第六孔共軸線連通而成， 第六孔的內(nèi)徑大于第四孔的內(nèi)徑，第四孔的內(nèi)徑大于第五孔的內(nèi)徑，使得第四孔、第五孔 之間形成第三臺階，第五孔、第六孔之間形成第四臺階，空心軸的下端有外伸的圓臺，空 心軸的外壁中部靠近圓臺處有第一環(huán)形槽，第一環(huán)形槽內(nèi)套裝第五密封圈；

水道包括自上而下直徑依次遞減且共軸線連接的圓形連接板、第一圓柱、第二圓柱、 第三圓柱；

第一圓柱的外側(cè)為削平狀的安裝面，第一圓柱內(nèi)有進(jìn)水孔、進(jìn)水室、出水孔、回水室， 前兩者與后兩者相隔絕，進(jìn)水孔和出水孔的外端位于安裝面上，進(jìn)水孔的內(nèi)端與進(jìn)水室相 通，出水孔的內(nèi)端與回水室相通；

水道內(nèi)的軸向中心區(qū)域開有依次貫穿第三圓柱、第二圓柱并與進(jìn)水室相通的進(jìn)水通 道，水道內(nèi)的軸向外緣處開有若干相互平行間隔的回水通道，每個(gè)回水通道均依次貫穿第 三圓柱、第二圓柱并與回水室相通；

第三圓柱的下端面外緣處設(shè)有與回水通道相間隔的掛接耳；

空心軸的中部自下而上地依次同軸套裝屏蔽片、磁性密封件、皮帶盤，屏蔽片擔(dān)置在 空心軸的圓臺上，圓臺、屏蔽片、磁性密封件之間設(shè)有起連接作用的若干固定銷，固定銷 的軸線與空心軸的軸線相平行，皮帶盤固定在空心軸上，第五密封圈與磁性密封件緊密接 觸；

外殼的第一孔內(nèi)自下而上地依次同軸安置球軸承、限位片，球軸承的外圈擔(dān)置在第一 臺階上，限位片與球軸承的外圈貼靠接觸；

皮帶經(jīng)一側(cè)的第一皮帶孔穿入第二孔內(nèi)并經(jīng)另一側(cè)的第一皮帶孔穿出；

所述裝有屏蔽片、磁性密封件、皮帶盤的空心軸與外殼內(nèi)外同軸套接；

磁性密封件位于第三孔內(nèi)，外殼的第三孔與磁性密封件之間呈緊密接觸的密封狀態(tài)， 鎖定銷貫穿外殼在第三孔處的殼壁與磁性密封件相接；

皮帶盤位于第二孔內(nèi)且與兩個(gè)第一皮帶孔在位置上相對應(yīng)，皮帶與皮帶盤相接；

空心軸位于第一孔內(nèi)的上部軸體與球軸承的內(nèi)圈同軸套接，承重片同軸置于外殼的第 一孔內(nèi)，承重片的外緣擔(dān)置在球軸承的內(nèi)圈上，承重片的內(nèi)緣擔(dān)置并固定在空心軸的上端 面上；

水道分別與空心軸、承重片內(nèi)外同軸套接；

連接板擔(dān)置并固定在外殼的上端面上；