[實用新型]新型線切割機雙排切割晶托裝置

有效

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• 申請日: 2015-12-21
• 公開（公告）號: CN205219475U
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發(fā)明（設計）人: 姜環(huán)宇;劉福強;方圓;劉奇元;劉陳陳;蘇大偉;王鵬坤;黃文文;吳昂;屈曉春;鄭春燕
• 申請（專利權）人: 河南盛達光伏科技有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B28D5/04
• 代理公司: 安陽市智浩專利代理事務所 41116
• 代理人: 王好勤

技術領域

本實用新型涉及多晶硅生產技術領域，進一步是線切割機切割多晶硅塊裝置，尤其是線切割機雙排切割晶托裝置。

背景技術

目前多晶硅線切割所使用的線切割設備，大多是雙排并排設計的。此類機型在增加裝載量的同時，也存在切割過程中并排晶棒相互影響的情況。特別是在入切和收刀階段尤為明顯。經常會出現因并排晶棒不能同時入刀導致的邊緣缺陷，以及收刀時線弓過大導致的膠面邊緣缺陷，最終導致切割良品率較低。

發(fā)明內容

本實用新型的目的是提供一種線切割機雙排切割晶托加角度裝置，它可克服現有技術的缺陷，減少入切和收刀階段雙排切割相互影響所產生的不良，降低生產成本，提高切片良品率。

本實用新型的目的是通過以下方案實現的：

在原晶托設計的基礎上，在晶托和金屬墊板之間一側增加一個金屬墊條，使晶棒和線網之間不再平行，而是有一個角度，從而使晶棒在入切時一個角先接觸線網，使線網受力逐步增加，減少入切邊緣缺陷的產生，而到了收刀階段因為角度的存在，可將切割線弓的角度抵消，實現粘膠面的平穩(wěn)出刀，減少粘膠面的邊緣缺陷的產生。從而提升切割良品率。

具體是：

新型線切割機雙排切割晶托裝置，包括兩個帶有燕尾槽的固定晶托，兩個用來粘結玻璃的金屬墊板，連結晶托和金屬墊板的固定螺絲；兩塊玻璃板，玻璃板下粘結多晶硅塊；其特征在于：所述晶托下平面與多晶硅塊上平面間呈3－6度夾角。

本實用新型還可通過以下方案進一步實現：

所述夾角由以下結構實現：晶托和金屬墊板中間添加有楔形金屬墊條，固定螺絲將晶托金屬墊板固緊，同時夾緊楔形金屬墊條。進一步：楔形金屬墊條的厚度為1.5mm-2.0mm之間。

所述夾角由以下結構實現：將金屬墊板制成楔形，金屬墊板上平面與下平面呈3－6度夾角。

所述夾角由以下結構實現：將玻璃板制成楔形，玻璃上平面與下平面呈3－6度夾角。

本實用新型的有益效果是：1、在雙排滿載切割時給晶棒加一個角度，可以避免晶棒在入切時產生邊緣線痕。2、雙排滿載切割所加角度在收刀時可以抵消切割過程中產生的線弓，使收刀更加平穩(wěn)，避免因滿載切割線弓過大產生膠面的亮邊、崩邊和硅落等異常。最終實現提升切割良品率。

為了使本技術領域的人員更好地理解本實用新型方案，并使本實用新型的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細的說明。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖中：1為晶托，2為金屬墊板，3為固定螺絲，4為楔形金屬墊條，5為玻璃板，6為多晶硅塊。

具體實施方式

實施例：

如圖1所示，新型線切割機雙排切割晶托裝置，包括兩個晶托1、兩個金屬墊板2，以及兩塊玻璃板5，玻璃板5下置有多晶硅塊6。通過在晶托1和金屬墊板2中間添加兩個相同尺寸的楔形金屬墊條4，固定螺絲3將晶托1金屬墊板2固緊（也可以將所述楔形墊條直接通過固定晶托和金屬墊板的螺絲來固定），給下面粘結的多晶硅塊6一個傾斜角度，實現對入切和收刀不良的改善。

所述楔形金屬墊條設置于晶托和金屬墊板之間靠近中間砂簾一側，楔形金屬墊條厚度范圍1.5mm-2.0mm。

以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。