[實用新型]一種絕對式光柵尺的絕對位置測量裝置

有效

• 申請號: 201521071876.1
• 申請日: 2015-12-18
• 公開（公告）號: CN205280099U
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 柴寧;王新力;廖劍祥
• 申請（專利權）人: 佛山輕子精密測控技術有限公司
• 主分類號: G01D5/347
• 分類號: G01D5/347
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 胡輝;鄭澤萍

1.一種絕對式光柵尺的絕對位置測量裝置，其特征在于，包括光源模塊、標準光柵、物 鏡、光電傳感器模塊和信號處理器，所述標準光柵上設有絕對碼道，所述光源模塊發出的光 束入射到標準光柵上并經過絕對碼道透射或反射后，通過物鏡后到達光電傳感器模塊，所 述光電傳感器模塊采集到達的光信號并轉換為測量電信號后發送到信號處理器。

2.根據權利要求1所述的一種絕對式光柵尺的絕對位置測量裝置，其特征在于，所述標 準光柵采用絕對式光柵尺標尺。

3.根據權利要求1所述的一種絕對式光柵尺的絕對位置測量裝置，其特征在于，所述光 電傳感器模塊與絕對碼道位于相互平行的平面上，且光電傳感器模塊與絕對碼道之間具有 一夾角。

4.根據權利要求3所述的一種絕對式光柵尺的絕對位置測量裝置，其特征在于，所述光 電傳感器模塊包括多個均勻排列的光敏元。

5.根據權利要求3所述的一種絕對式光柵尺的絕對位置測量裝置，其特征在于，所述絕 對碼道是按照偽隨機碼規則，采用具有反射特性的材料不等間距排列制成的。

6.根據權利要求3所述的一種絕對式光柵尺的絕對位置測量裝置，其特征在于，所述絕 對碼道是按照偽隨機碼規則，采用具有吸收特性的材料不等間距排列制成的。