[實用新型]底片檢查機(jī)缺陷識別能力測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201521071724.1
• 申請日: 2015-12-21
• 公開（公告）號: CN205246561U
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬卓;王銘釧
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市迅捷興電路技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種底片檢查機(jī)缺陷識別能力測試裝置，其特征在于，包括：

缺陷底片(1)，所述缺陷底片(1)上形成有至少一種缺陷圖案，所述 缺陷圖案包括多個不同等級的缺陷子圖案(2)；

與所述缺陷底片(1)重疊起來配合使用的標(biāo)識底片(3)，所述標(biāo)識底 片(3)上形成有與每個所述缺陷子圖案(2)一一對應(yīng)的標(biāo)識字符(4)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的底片檢查機(jī)缺陷識別能力測試裝置，其特征在于， 所述缺陷圖案包括短路圖案(5)、和/或開路圖案(6)、和/或突起圖案(7)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的底片檢查機(jī)缺陷識別能力測試裝置，其特征在于， 所述缺陷底片(1)上還形成有第一對齊方向孔(8)，所述標(biāo)識底片(3) 上還形成有與所述第一對齊方向孔(8)配合使用的第二對齊方向孔(9)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的底片檢查機(jī)缺陷識別能力測試裝置，其特征在于， 所述第一對齊方向孔(8)和所述第二對齊方向孔(9)的個數(shù)均為兩個。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的底片檢查機(jī)缺陷識別能力測試裝置，其特征在于， 所述缺陷圖案通過印刷、或刻蝕、電鍍的方式形成在所述缺陷底片(1)的 表面上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的底片檢查機(jī)缺陷識別能力測試裝置，其特征在于， 所述標(biāo)識字符(4)通過印刷、或刻蝕、電鍍的方式形成在所述標(biāo)識底片(3) 的表面上。