[實用新型]一種專用于圓柱形晶體搬運的擺臂式真空吸吊機

有效

• 申請號: 201521065057.6
• 申請日: 2015-12-18
• 公開（公告）號: CN205241032U
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發明（設計）人: 蘇冰;趙晨光;安瑞陽;劉克雷;李兆進;魯進軍
• 申請（專利權）人: 有研半導體材料有限公司
• 主分類號: B66C1/02
• 分類號: B66C1/02;B66C23/62
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 劉秀青;熊國裕

1.一種專用于圓柱形晶體搬運的擺臂式真空吸吊機，其特征在于，包括立 體柱、水平擺臂滑軌、提升伸縮管、真空鼓風機及真空吸盤；水平擺臂滑軌通 過旋轉接頭固定在立體柱上，并且能夠圍繞立體柱旋轉180°；水平擺臂滑軌上 設有滑塊，提升伸縮管安裝在滑塊上，真空吸盤固定在提升伸縮管底部；真空 鼓風機通過導氣管與提升伸縮管連接，控制提升伸縮管內的真空壓力，實現真 空吸盤豎直方向的升降。

2.根據權利要求1所述的專用于圓柱形晶體搬運的擺臂式真空吸吊機，其 特征在于，所述真空鼓風機與提升伸縮管之間連接有緩沖罐及真空過濾器。

3.根據權利要求1所述的專用于圓柱形晶體搬運的擺臂式真空吸吊機，其 特征在于，所述提升伸縮管上設有控制單元，該控制單元包括旋轉式調節閥、 壓力顯示表及手剎式真空破壞閥；所述旋轉式調節閥控制進氣量，實現升降速 度的控制，所述手剎式真空破壞閥可使吸盤唇與圓柱形晶體快速脫離。

4.根據權利要求1所述的專用于圓柱形晶體搬運的擺臂式真空吸吊機，其 特征在于，所述旋轉接頭上設有集成式的檢測閥，該檢測閥能夠在供電系統故 障或失去時延長晶體墜落或下降的時間。

5.根據權利要求1所述的專用于圓柱形晶體搬運的擺臂式真空吸吊機，其 特征在于，所述真空吸盤由吸盤支架和連接在吸盤支架上的吸盤唇組成，吸盤 唇與吸盤支架之間可90°旋轉。

6.根據權利要求5所述的專用于圓柱形晶體搬運的擺臂式真空吸吊機，其 特征在于，所述吸盤唇為弧形結構。

7.根據權利要求5所述的專用于圓柱形晶體搬運的擺臂式真空吸吊機，其 特征在于，所述吸盤支架上安裝有保護鉸鏈，該保護鉸鏈配合晶體固定托使用。