[實用新型]一種用于CVD連續制備石墨烯的設備

有效

• 申請號: 201521049268.0
• 申請日: 2015-12-15
• 公開（公告）號: CN205187875U
• 公開（公告）日: 2016-04-27
• 發明（設計）人: 童磊;周忠福;王會利;王云龍;胡琪卉;李玲;郝福瑞;張玲玉;俞健舒;張家平
• 申請（專利權）人: 安徽易能新材料科技有限公司
• 主分類號: C01B31/04
• 分類號: C01B31/04
• 代理公司: 合肥市上嘉專利代理事務所(普通合伙) 34125
• 代理人: 吳明華

1.一種用于CVD連續制備石墨烯的設備，包括管式爐和石英管道，其特征 在于：所述石英管道穿過所述管式爐，所述石英管道的兩端分別設有第一法蘭和 第二法蘭，所述第一法蘭的外側設有入氣口，所述第一法蘭的內側設有第一支架； 所述第二法蘭的外側設有出氣口，所述第二法蘭的內側設有第二支架；所述第一 支架和第二支架相向側處分別設有第一滾軸和第二滾軸，基底纏繞在所述第一滾 軸上并將所述基底牽引至第二滾軸上，電機帶動第二滾軸轉動。

2.根據權利要求1所述的一種用于CVD連續制備石墨烯的設備，其特征在于， 所述電機與轉速控制系統電性連接，所述轉速控制系統用于設置電機的轉速從而 控制碳原子在基底上的沉積時間。

3.根據權利要求1所述的一種用于CVD連續制備石墨烯的設備，其特征在于， 所述第一滾軸和第二滾軸均為可拆卸式滾軸。

4.根據權利要求1所述的一種用于CVD連續制備石墨烯的設備，其特征在于， 設于所述管式爐左右兩側的所述石英管道中均設有管堵，對應構建第一隔熱區和 第二隔熱區。

5.根據權利要求1所述的一種用于CVD連續制備石墨烯的設備，其特征在于， 所述基底為銅箔或泡沫鎳材料。