[實(shí)用新型]半導(dǎo)體制程廢氣中氟化物的凈化裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201521045832.1
• 申請(qǐng)日: 2015-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN205288022U
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮五裕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東服企業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/18
• 分類號(hào): B01D53/18
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

1.一種半導(dǎo)體制程廢氣中氟化物的凈化裝置，其特征在于其包括：

一反應(yīng)腔室，形成于半導(dǎo)體廢氣處理槽內(nèi)，該廢氣處理槽配置有至少一半導(dǎo)體制 程廢氣的導(dǎo)入管，該導(dǎo)入管導(dǎo)引含藏有氟化物的半導(dǎo)體制程廢氣進(jìn)入反應(yīng)腔室；

一熱管，配置于廢氣處理槽并植入反應(yīng)腔室內(nèi)，該熱管具有一形成于廢氣處理槽 外的外端以及一形成于反應(yīng)腔室內(nèi)的內(nèi)端，該外端設(shè)有一注水管，該內(nèi)端形成有多個(gè) 貫穿且分布于熱管管壁的噴孔，其中；

該熱管內(nèi)穿設(shè)有一加熱棒，該加熱棒與熱管的管壁之間形成一通道，該通道連通 注水管且經(jīng)由該多個(gè)噴孔連通反應(yīng)腔室，該注水管導(dǎo)引水進(jìn)入通道內(nèi)，該通道內(nèi)的水 接觸加熱棒而生成高溫的水霧狀氣態(tài)水，該水霧狀氣態(tài)水經(jīng)由該多個(gè)噴孔導(dǎo)入反應(yīng)腔 室內(nèi)溶解氟化物成為氟化氫。

2.如權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體制程廢氣中氟化物的凈化裝置，其特征在于：該多個(gè) 噴孔貫穿且間隔分布于熱管內(nèi)端的四周管壁。

3.如權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體制程廢氣中氟化物的凈化裝置，其特征在于：該半導(dǎo) 體廢氣處理槽頂部設(shè)有一頭蓋，該半導(dǎo)體制程廢氣的導(dǎo)入管以及熱管間隔配置于頭蓋 上。

4.如權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體制程廢氣中氟化物的凈化裝置，其特征在于：該熱管、 通道及加熱棒呈直線狀的同心圓配置。

5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述半導(dǎo)體制程廢氣中氟化物的凈化裝置，其特征 在于：該反應(yīng)腔室四周配置有一環(huán)狀加熱器作為廢氣處理槽的槽壁。

6.如權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體制程廢氣中氟化物的凈化裝置，其特征在于：該反應(yīng) 腔室內(nèi)經(jīng)由多個(gè)隔板間隔形成多個(gè)反應(yīng)腔槽，該多個(gè)隔板上分別形成有至少一通孔連 通多個(gè)反應(yīng)腔槽，該多個(gè)反應(yīng)腔槽經(jīng)由通孔相互連通而形成一導(dǎo)氣通道，該導(dǎo)氣通道 導(dǎo)引廢氣與氣態(tài)水通過反應(yīng)腔室。

7.如權(quán)利要求6所述半導(dǎo)體制程廢氣中氟化物的凈化裝置，其特征在于：該多個(gè) 隔板上分別形成的通孔是以雙軸座標(biāo)的第一至第四象限的配置方式交錯(cuò)對(duì)應(yīng)，使該導(dǎo) 氣通道呈現(xiàn)迂回形式。

8.如權(quán)利要求6或7所述半導(dǎo)體制程廢氣中氟化物的凈化裝置，其特征在于：該 多個(gè)隔板之間設(shè)有隔墻。