[實用新型]一種用于真空輥道的在線測量裝置

有效

• 申請號: 201521042013.1
• 申請日: 2015-12-14
• 公開（公告）號: CN205263247U
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 齊士新;李陽;寧超
• 申請（專利權）人: 天津南玻節能玻璃有限公司
• 主分類號: G01R31/12
• 分類號: G01R31/12
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 李莎

技術領域

本發明創造屬于玻璃深加工設備技術領域，具體涉及一種用于玻璃鍍膜設備的真空 腔室內旋轉輥道絕緣的在線監測裝置。

背景技術

玻璃深加工技術領域中鍍膜設備生產大板玻璃時普遍存在玻璃表面的放電現象。玻 璃鍍膜后表面出現放電現象會造成鍍膜玻璃的報廢。在鍍膜設備中銀靶輥道的絕緣失效 是造成大板玻璃表面產生放電的原因之一。通常的狀態下，當大板玻璃出現放電時，由 于輥道處于真空腔室中，無法對旋轉的輥道絕緣進行測量，無法判斷玻璃的放電是否由 于銀靶輥道絕緣失效造成。輥道的絕緣測量只有在設備換靶檢修時真空室回氣后，在大 氣狀態下進行測量。這樣種情況下，一方面無法實時獲得玻璃放電與銀靶輥道絕緣失效 的關聯情況，線下測量具有滯后性，從而獲得指導性解決方案；另一方面，真空室回氣 嚴重影響生產穩定性，測試后投入生產時還需反復進行調試，降低生產效率。

發明內容

本發明創造為解決現有技術中的問題，提供了一種用于真空輥道的在線測量裝置， 能夠在連續生產時對鍍膜設備中的傳動輥道絕緣進行在線測量，將連續生產時旋轉輥道 的絕緣情況實時的反映出來。

本發明創造提供的一種用于真空輥道的在線測量裝置，包括端軸、殼體以及旋轉軸 承；所述端軸一側與真空輥道的軸頭固定連接，另一端設有深入所述殼體內的凸起；所 述殼體中央設有供所述端軸的凸起通過的殼孔，所述旋轉軸承的外套固定于所述殼體內 部，且所述旋轉軸承的內套與深入所述殼體內的端軸的凸起固定連接；其中，所述端軸、 殼體以及旋轉軸承均由導體材料(如金屬)制成，所述殼體連接有測量引線。

進一步，所述端軸與真空輥道的軸頭以插接的方式固定連接，所述端軸上設有供真 空輥道的軸頭插入的插槽，優選的，所述插槽與真空輥道的軸頭過盈配合連接。

進一步，作為所述端軸與真空輥道的軸頭的另一種連接方式，所述端軸上設有若干 頂絲孔，真空輥道的軸頭通過穿過所述頂絲孔的頂絲固定于所述端軸內。更進一步，所 述頂絲孔與頂絲優選為3個，互成120°角均布于所述端軸上。

進一步，所述旋轉軸承靠近所述真空輥道的一側與所述殼體內部抵接。

進一步，所述端軸的凸起上與所述旋轉軸承的遠離所述真空輥道的一側相鄰的位置 上還固定有擋圈，用于使旋轉軸承更好地定位。更進一步，所述端軸的凸起上還設有供 所述擋圈安裝或定位的環槽。

進一步，所述殼體后端還設有蓋體，能夠起到防護作用，防止真空腔室內部的濺射 物進入旋轉軸承內部造成旋轉連接部分異常損壞。更進一步，所述蓋體上還設有蓋環， 所述蓋體蓋合時，所述蓋環的自由端與所述旋轉軸承的遠離所述真空輥道的一側鄰接， 一方面，所述蓋環能夠實現所述蓋體與殼體的插接連接，另一方面，所述蓋環能夠對所 述旋轉軸承起到輔助定位的作用。

進一步，作為所述蓋體與殼體的附加的或另一種連接方式，所述蓋體上設有若干帶 螺紋的蓋孔，所述殼體上設有與所述蓋孔位置相對應的若干帶螺紋的連接孔，所述蓋體 與殼體通過分別穿過所述蓋孔和連接孔的螺釘進行附加的或單獨的固定連接。優選的， 所述蓋孔和連接孔的數量各為3個，互成120°角分別均布于所述蓋體和殼體上。

本發明創造的有益效果是：能夠在連續生產時對鍍膜設備中的傳動輥道絕緣進行在 線測量，將連續生產時旋轉輥道的絕緣情況實時的反映出來，一方面能夠協助分析生產 時玻璃放電的原因，為解決大板玻璃的放電及時提供可靠的依據，另一方面減少了回氣 狀態下檢測連續旋轉銀靶輥道絕緣性的繁瑣操作，有利于穩定生產、提高效率。

附圖說明

圖1是本發明創造一種結構示意圖；

圖2是圖1的分解圖；

圖3是本發明創造另一種結構示意圖；

圖4是圖3的分解圖；

圖5是本發明創造安裝使用狀態示意圖。

其中，1-端軸；11-插槽；12-凸起；13-環槽；14-頂絲孔；15-頂絲；2-殼體；21-殼孔； 22-連接孔；3-旋轉軸承；31-外套；32-內套；4-真空輥道；41-軸頭；5-測量引線；6-擋圈； 7-蓋體；71-蓋環；72-蓋孔；73-螺釘；8-真空腔室；81-真空接頭；9-測量儀表。

具體實施方式