[實用新型]鼓泡器

有效

• 申請號: 201521027881.2
• 申請日: 2015-12-10
• 公開（公告）號: CN205329209U
• 公開（公告）日: 2016-06-22
• 發明（設計）人: 吳慶東;周康
• 申請（專利權）人: 上海新傲科技股份有限公司
• 主分類號: C30B25/14
• 分類號: C30B25/14;C30B29/06
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤

技術領域

本實用新型涉及半導體外延設備領域，尤其涉及一種鼓泡器。

背景技術

單晶硅外延，是在拋光硅片表面通過化學氣相沉積的方法再生長一層幾微 米到幾十微米單晶硅層，硅外延材料是集成電路和分立器件中重要的基礎材料。 硅外延片能夠提供拋光片所沒有的電參數，去除許多在晶體生長和加工成襯底 材料過程中形成的表面和近表面缺陷。單晶硅外延片主要用于CMOS邏輯電 路、DRAM和分立器件制造。外延技術是解決大直徑單晶硅片表面缺陷的一種 重要手段。

外延爐是硅外延的關鍵設備，外延爐的性能直接影響硅外延片的質量。鼓 泡器是單晶硅外延設備中重要的氣體提供部件。參見圖1，鼓泡器通常由一個 管本體10、一個氫氣供氣管13、廢液管14組成。管體本體10內裝載三氯氫 硅液體，所述氫氣供氣管13插入所述管本體10的三氯氫硅液體中，以將H₂通入管本體10中發生起泡，起泡后的三氯氫硅飽和氣體通過排氣管16排出用 于外延生長。所述廢液管14用于將三氯氫硅的廢液排出，所述廢液管14具有 閥門15，在不需要排液時，所述閥門15關閉，在需要將廢液排出時，所述閥 門15打開。

現有的鼓泡器存在如下問題：

一、沒有考慮到因供氫氣供氣管13堵塞而引起供氣不穩導致外延片報廢 的情況，設備在外延過程中，若供氣不穩定，則使得做出來的外延片厚度均一 性不好、電阻率不達標。所述鼓泡器的每種氣體只有一個進氣口，在經過一段 時間的使用后，供氣管管口易出現堵塞，所述供氣管易堵的區域如圖1中虛線 框所標示，所以鼓泡器的使用壽命減短了。

現有的鼓泡器已經很全面的考慮到了安全問題，但存在不足，鼓泡器僅有 一個廢液管14，用于排出三氯氫硅，所述廢液管14上的閥門15因長期受到廢 液的腐蝕易損壞，從而存在安全隱患。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是，提供一種鼓泡器，起能夠提供穩定有 效的氣體供應。

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種鼓泡器，包括：一管本體，用 于存放液體反應物；一第一進氣管，插入所述管本體中，用于將氣體通入所述 管本體的液體反應物中，以進行起泡，形成含有反應物的飽和氣體；一廢液管， 與所述管本體連接；還包括一第二進氣管，一端與所述第一進氣管的進氣端連 通，另一端與所述廢液管連通，用于在第一進氣管堵塞的情況下將氣體由所述 廢液管通入所述管本體中；一第一閥門，設置在廢液管上，位于管本體與第二 進氣管連接點之間，用于控制廢液管的開閉；一流量監控器，與所述第一進氣 管連接，用于監控第一進氣管的氣體流量；一閥門控制器，與所述流量監控器 以及第一閥門連接，用于在流量監控器監控的第一進氣管的氣體流量小于預設 值的情況下，控制第一閥門開啟。

進一步，所述第一進氣管及第二進氣管均具有一進氣閥門，以控制所述第 一進氣管及第二進氣管的開閉。

進一步，還包括一第二閥門，所述第一閥門及第二閥門依次與所述廢液管 連接，用于控制廢液管的開閉。

進一步，所述第一閥門與所述第二閥門之間設置有流量監控器，以監測是 否有氣體泄露。

進一步，所述第二進氣管連接點位于所述第一閥門與所述第二閥門之間。

進一步，所述第二進氣管連接點位于所述第二閥門與所述廢液管的出口之 間。

進一步，所述管本體為一U型管。

進一步，還包括一出氣管，設置在所述管本體上方，用于將含有反應物的 飽和氣體通入外部反應裝置。

進一步，還包括液體加注管，用于向所述管本體內加注液體。

本實用新型的一個優點在于，采用第一進氣管及第二進氣管，彼此作為備 份，提供穩定有效地氣體供應，避免了在外延生長時，因氣體流量不穩而導致 整爐外延片的報廢，提高效益。另外，充分利用廢液管，該鼓泡器中廢液管一 管多用，也可作為第二進氣管的進氣管。

本實用新型的另一個優點在于，第一閥門及第二閥門，雙閥門保險裝置避 免了三氯氫硅(TCS)液體泄漏后，才能發現問題，這樣存在很大的危險系數， 雙閥門裝置可以先發現問題，在三氯氫硅液體泄漏前修理好設備，降低危險系 數。

附圖說明

圖1是現有的鼓泡器的結構示意圖；

圖2是本實用新型鼓泡器的一具體實施方式的結構示意圖。

具體實施方式