[實用新型]一種液動壓懸浮拋光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201521015938.7
• 申請日: 2015-12-09
• 公開（公告）號: CN205342678U
• 公開（公告）日: 2016-06-29
• 發(fā)明（設計）人: 孫白冰;王揚渝;文東輝;章少杰
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B41/00;B24B49/00;B24B49/10
• 代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

1.一種液動壓懸浮拋光裝置，其特征在于：包括拋光盤(15)、液動壓懸浮裝置、升降裝置和支撐裝置，所述拋光盤(15)表面劃分成若干個基本單元，每個基本單元表面均包括從右至左依次設置的工件貼片區(qū)、楔形區(qū)域、蓄流槽和約束邊界；所述支撐裝置包括大理石平臺(12)、底板(10)、側(cè)板(11)和支撐架(3)，支撐架(3)固定在所述底板(10)上，所述底板(10)通過左右兩側(cè)的側(cè)板(11)支撐在所述大理石平臺(12)上；所述升降裝置包括容器(14)和電動升降臺(13)，容器(14)固定在電動升降臺(13)上，電動升降臺(13)固定在大理石平臺(12)上；所述液動壓懸浮裝置包括包括拋光盤(15)、滾珠花鍵軸(22)、軸套(19)、伺服電機(24)、平衡板(20)、支撐座(23)和多組重力克服機構(gòu)，所述滾珠花鍵軸(22)套裝在固定在底板(10)上的軸套(19)內(nèi)，滾珠花鍵軸(22)穿過所述底板(10)，滾珠花鍵軸(22)的底部通過剛性聯(lián)軸器(16)連接拋光盤(15)，滾珠花鍵軸(22)的頂部通過支撐座(23)連接平衡板(20)；所述平衡板(20)的兩端設有支撐塊(5)，所述支撐塊(5)與固定在支撐架(3)上的滾動導軌(4)配合連接，所述平衡板(20)通過所述支撐塊(5)在所述滾動導軌(4)上上下滑動；所述重力克服機構(gòu)固定在所述平衡板(20)與底板(10)之間，用于克服所述底板(10)、滾珠花鍵軸(22)、剛性聯(lián)軸器(16)和拋光盤(15)的自重；所述伺服電機(24)通過電機支承座固定在底板(10)上，伺服電機(24)通過同步帶(27)連接軸套(19)，伺服電機(24)通過帶動同步帶(27)帶動軸套(19)和滾珠花鍵軸(22)的轉(zhuǎn)動從而帶動所述拋光盤(15)的轉(zhuǎn)動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液動壓懸浮拋光裝置，其特征在于：所述滾珠花鍵軸(22)正上方還設有測力傳感器(25)，所述測力傳感器(25)固定在絲杠(1)的正下方，所述絲杠(1)上設有調(diào)節(jié)所述絲杠(1)上下移動的螺母(2)，通過轉(zhuǎn)動螺母(2)能夠調(diào)節(jié)絲杠(1)帶動測力傳感器(25)與滾珠花鍵軸(22)的頂端接觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液動壓懸浮拋光裝置，其特征在于：所述底板(10)上還設有激光位移傳感器(17)，激光位移傳感器(17)正對所述底板(10)并用于檢測所述底板(10)的移動距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液動壓懸浮拋光裝置，其特征在于：所述重力克服機構(gòu)包括彈簧(6)、固定支撐座(9)、直線軸承(7)、光軸(8)和千分尺旋鈕(21)，光軸(8)的底部通過固定支撐座(9)固定在底板(10)上，光軸(8)的頂端連接固定在平衡板(20)上的千分尺旋鈕(21)，直線軸承(7)套裝在所述光軸(8)上，彈簧(6)套裝在所述光軸(8)和直線軸承(7)上，彈簧(6)的底端與底板(10)接觸，彈簧(6)的頂部與直線軸上的上端固定連接，直線軸承(7)可沿光軸(8)上下移動，從而壓縮或放松彈簧(6)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液動壓懸浮拋光裝置，其特征在于：所述軸套(19)上設有同步帶輪(28)，同步帶輪(28)的一端與軸套(19)的法蘭盤緊靠并通過螺釘固定，另一端通過第二止推軸承(30)進行壓緊，所述軸套(19)和底板(10)之間還安裝有第一止推軸承(29)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液動壓懸浮拋光裝置，其特征在于：所述容器(14)底部對應于拋光盤(15)中心的位置還設有電渦流傳感器(32)；電渦流傳感器(32)用于檢測拋光盤(15)與容器(14)底面的距離。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種液動壓懸浮拋光裝置，其特征在于：所述容器(14)內(nèi)還設有壓力傳感器(31)，所述壓力傳感器(31)沿圓周均布三個切各自對應拋光盤(15)上貼工件的位置。