[實用新型]濕式顯影輔助晃動機構

有效

• 申請號: 201521004826.1
• 申請日: 2015-12-04
• 公開（公告）號: CN205193431U
• 公開（公告）日: 2016-04-27
• 發明（設計）人: 趙晗;江獻茂
• 申請（專利權）人: 冠禮控制科技（上海）有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 楊軍;袁步蘭

1.一種濕式顯影輔助晃動機構，其特征在于：包括安裝吊軸(1)、不銹鋼外殼 (2)和載具(3)，所述安裝吊軸(1)固定連接在不銹鋼外殼(2)頂端，所 述不銹鋼外殼(2)內部裝有伺服電機(4)和減速機(5)，所述減速機(5) 的輸出端連接有傳動齒輪(6)，所述傳動齒輪(6)的輸出端連接轉軸(7)， 所述轉軸(7)的另一端裝有搖臂(8)，所述搖臂(8)固定連接在載具(3) 上，所述載具(3)上設有用于放置晶圓(9)的花籃(10)。

2.如權利要求1所述的濕式顯影輔助晃動機構，其特征在于：所述傳動齒輪(6) 包括主動齒輪以及位于主動齒輪左右兩側的從動齒輪，所述主動齒輪與從動 齒輪嚙合連接，所述從動齒輪上穿設有轉軸(7)，所述主動齒輪、從動齒輪 均為樹脂齒輪。

3.如權利要求1或2所述的濕式顯影輔助晃動機構，其特征在于：所述不銹鋼 外殼(2)上減速機(5)的輸出端處設有位置傳感器，所述位置傳感器通過 線路連接伺服電機(4)和減速機(5)。

4.如權利要求3所述的濕式顯影輔助晃動機構，其特征在于：所述花籃(10) 下方設有制程槽(11)，所述制程槽(11)內盛有顯影液，所述花籃(10)浸 沒于顯影液中。

5.如權利要求4所述的濕式顯影輔助晃動機構，其特征在于：所述搖臂(8)與 載具(3)之間設置有連接板(12)。

6.如權利要求5所述的濕式顯影輔助晃動機構，其特征在于：所述安裝吊軸(1) 采用PFA包覆。

7.如權利要求6所述的濕式顯影輔助晃動機構，其特征在于：所述載具(3)、 傳動齒輪(6)、轉軸(7)、搖臂(8)、連接板(12)均采用NPP或PTFE材質 制成。

8.如權利要求7所述的濕式顯影輔助晃動機構，其特征在于：所述制程槽(11) 采用NPP材質制成，所述花籃(10)采用PFA材質制成。

9.如權利要求8所述的濕式顯影輔助晃動機構，其特征在于：所述不銹鋼外殼 (2)采用sus304材質制成，所述不銹鋼外殼(2)表面噴涂有PTFE層。

10.如權利要求8所述的濕式顯影輔助晃動機構，其特征在于：所述不銹鋼 外殼(2)采用PP材質制成。