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[實用新型]一種自動硅片勻膠機用涂膠裝置有效

專利信息
申請號: 201520999330.6 申請日: 2015-12-07
公開(公告)號: CN205436197U 公開(公告)日: 2016-08-10
發明(設計)人: 靳立輝;張學強;白聰軒;崔振強;高樹良;周曉英 申請(專利權)人: 天津中環半導體股份有限公司
主分類號: B05C5/02 分類號: B05C5/02;B05C11/08;B05C13/02
代理公司: 天津中環專利商標代理有限公司 12105 代理人: 胡京生
地址: 300384 *** 國省代碼: 天津;12
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 自動 硅片 勻膠機用 涂膠 裝置
【說明書】:
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