[實(shí)用新型]一種用于去除三氟化硼氣體中氟化氫的裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520980476.6 | 申請(qǐng)日: | 2015-12-02 |
| 公開(公告)號(hào): | CN205275216U | 公開(公告)日: | 2016-06-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 陳靈軍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 格蘭特醫(yī)藥科技(南通)有限公司 |
| 主分類號(hào): | C01B35/06 | 分類號(hào): | C01B35/06 |
| 代理公司: | 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243 | 代理人: | 盧海洋 |
| 地址: | 226400 江*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 去除 氟化 氣體 氟化氫 裝置 | ||
1.一種用于去除三氟化硼氣體中氟化氫的裝置,其特征在于:包括多個(gè)串聯(lián)的凈化罐,所述凈化罐的底部設(shè)置有氣體進(jìn)口,所述凈化罐的頂部設(shè)置有氣體出口,前一個(gè)凈化罐的氣體出口與后一個(gè)凈化罐的氣體進(jìn)口相連通,每個(gè)凈化罐內(nèi)均填滿有陶瓷環(huán)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于去除三氟化硼氣體中氟化氫的裝置,其特征在于:所述凈化罐有五個(gè)。
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