[實用新型]一種多晶硅鑄錠爐

有效

• 申請號: 201520978701.2
• 申請日: 2015-11-30
• 公開（公告）號: CN205188479U
• 公開（公告）日: 2016-04-27
• 發明（設計）人: 陳五奎;劉強;徐文州;馮加保
• 申請（專利權）人: 樂山新天源太陽能科技有限公司;深圳市拓日新能源科技股份有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙) 51232
• 代理人: 李玉興

1.一種多晶硅鑄錠爐，包括具有夾層空間的爐體(1)，爐體(1)上設置有抽氣孔(2)， 所述爐體(1)內設置有下托保溫板(3)與保溫罩(4)，保溫罩(4)放置在下托保溫板(3) 上，保溫罩(4)與下托保溫板(3)共同構成保溫隔熱籠，所述保溫罩(4)上連接有能夠使 保溫罩(4)上下移動的升降桿(5)，所述保溫隔熱籠內設置有坩堝(6)、坩堝護板(7)、石 墨底板(8)、石墨蓋板(9)、側部加熱器(10)、頂部加熱器(11)、熱交換平臺(12)，所述 石墨底板(8)放置在熱交換平臺(12)上，坩堝(6)放置在石墨底板(8)上，坩堝護板(7) 設置在坩堝(6)外側，側部加熱器(10)設置在坩堝護板(7)的外側，石墨蓋板(9)設置 在坩堝(6)上方，頂部加熱器(11)設置在石墨蓋板(9)上方，所述熱交換平臺(12)通 過石墨立柱(22)固定在爐體(1)底部，坩堝護板(7)的上端設置有尾氣排放孔(13)，還 包括進氣管(14)，所述進氣管(14)的一端與氬氣源(15)相連，另一端依次穿過爐體(1)、 保溫罩(4)、頂部加熱器(11)、石墨蓋板(9)后伸入坩堝(6)內，其特征在于：所述進氣 管(14)上設置有氣體加熱裝置(33)，所述氣體加熱裝置(33)包括柱狀基體(331)，所述 柱狀基體(331)內設置有圓柱形的氣體加熱空腔(332)，所述柱狀基體(331)上設置有與 氣體加熱空腔(332)連通的進氣口與出氣口，所述進氣口與氬氣源(15)連通，所述出氣口 與進氣管(14)連通，所述柱狀基體(331)的表面纏繞有加熱絲(334)，所述加熱絲(334) 連接在電源(335)上。

2.如權利要求1所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述加熱絲(334)與電源(335) 之間設置有溫控表(336)，所述氣體加熱空腔(332)內設置有溫度探頭(337)，所述溫度探 頭(337)與溫控表(336)相連接。

3.如權利要求2所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述石墨蓋板(9)上設置有多個 通孔(17)。

4.如權利要求3所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述爐體(1)底部安裝有溢流毯 (18)，所述溢流毯(18)為四層結構，從上到下依次為針織陶瓷纖維毯層、針織陶瓷纖維毯 層、陶瓷纖維毯層、碳氈層，所述針織陶瓷纖維毯層的厚度為10mm、針織陶瓷纖維毯層的 厚度為10mm、陶瓷纖維毯層的厚度為25mm、碳氈層的厚度為10mm。

5.如權利要求4所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述溢流毯(18)的上表面安裝有 溢流絲。

6.如權利要求5所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述下托保溫板(3)上設置有多 個溢流孔(20)。

7.如權利要求6所述的多晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述坩堝(6)與坩堝護板(7)之 間設置有碳氈(21)。