[實用新型]一種多晶硅片生產車間用上料設備

有效

• 申請號: 201520976129.6
• 申請日: 2015-11-30
• 公開（公告）號: CN205133050U
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發明（設計）人: 沈羽佳
• 申請（專利權）人: 海寧光泰太陽能工業有限公司
• 主分類號: B66F9/06
• 分類號: B66F9/06;B66F9/08;B66F9/14;B28D7/00;B28D5/00
• 代理公司: 嘉興海創專利代理事務所(普通合伙) 33251
• 代理人: 章松偉

技術領域

本實用新型涉及晶棒切片輔助設備技術領域，具體講是一種多晶硅片生產車 間用上料設備。

背景技術

目前，在晶棒制成硅晶片之前需要對晶棒進行預處理，即將切割好的晶棒粘 結在粘棒工裝上，然后通過多晶硅片生產車間用上料設備將載有晶棒的粘棒工裝 裝于切片機的夾頭上。在上料時，需要通過多晶硅片生產車間用上料設備兩插架 插入粘棒工裝上對應的插孔中將晶棒工裝高度提升，然后運動至切片機，以使晶 棒工裝上的安裝孔與切片機上的夾頭配合完成上料工序。現有技術中，當多晶硅 片生產車間用上料設備將載有晶棒的粘棒工裝運輸至切片機安裝位置時，需要人 員手動將多晶硅片生產車間用上料設備進行多次位置調整，才能夠使晶棒工裝上 的安裝孔與切片機上的夾頭位置配合，導致工作效率較低。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是，克服現有技術中存在的缺陷，提供一種 能夠使粘棒工裝上的安裝孔快速有效的和切片機上的安裝夾頭形成配合的多晶 硅片生產車間用上料設備。

為解決上述技術問題，本實用新型提出一種多晶硅片生產車間用上料設備， 包括機架和可上下移動設置在機架上的移動架，所述移動架上設有適于與粘棒工 裝上插孔配合的插架，機架下端設有導向裝置，所述的導向裝置包括左右兩邊對 稱設置的導向輪，兩邊的導向輪之間形成定位槽。

作為改進，機架背對移動架的一側設有操作平臺，所述機架的底端設有拉繩 位移傳感器，所述拉繩位移傳感器的拉線頭連接移動架，并通過信號線連接操作 平臺上的顯示屏裝置，這樣，設備在工作時，拉繩位移傳感器通過數據線將移動 架實時高度數據顯示于操作平臺的顯示屏裝置上，用戶可通過顯示屏裝置直觀查 看準確的高度，在顯示高度數值與預設高度數值有偏差時可通過操作平臺上的操 縱桿進行調節，利于粘棒工裝上安裝孔與切片機上夾頭快速配合，從而節省在高 度調節上所消耗的時間，有效提高工作效率。

作為改進，插架包括與所述移動架固定連接的固定插架和與所述移動架可移 動連接的活動插架，所述活動插架與固定插架同一高度設置，所述活動插架可移 動的方向為左右方向，這樣，在應對粘有晶棒不同孔距的粘棒工裝時，可調節兩 插架之間間距，調節簡單方便，有利于提升工作效率。

作為改進，所述活動插架與所述移動架通過螺栓連接，所述移動架上穿設所 述螺栓的孔為沿左右方向設置的適于所述螺栓移動的條形孔，這樣，螺栓可以在 條形孔中左右移動，從而使得活動插架可以左右移動，起到可調節插架之間間距 的作用。

作為改進，條形孔的兩端設有長度方向與固定插架設置方向一致的限位凸 條，這樣，活動插架移動到位時與限位凸條相抵，以使所述活動插架移動到位時 與所述固定插架保持平行，定位更加準確，提高了工作效率。

采用上述結構后，與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：

1、在將粘有晶棒的粘棒工裝安裝于切片機時，通過導向輪的導向使所述定 位槽與切片機上對應設置的定位件快速定位配合，進而使粘棒工裝上的安裝孔快 速有效的和切片機上的安裝夾頭形成配合，便于晶棒的安裝，可有效提高工作效 率。

2、通過設置可左右移動的活動插架，在應對粘有晶棒的粘棒工裝不同插孔 孔距時，可調節兩插架之間的間距，調節簡單更加方便，有利于提升工作效率。

3、通過設置與移動架和操作平臺上顯示屏裝置連接的拉繩位移傳感器，可 通過顯示屏裝置直觀查看準確的高度位置信息，并且通過操作平臺進行微調，這 樣，可以在查看控制面板信息后直接將移動架到達需要的指定高度，與切片機上 的安裝夾頭在同一高度，節省在高度調節上所消耗的時間，提高工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型一種多晶硅片生產車間用上料設備的結構示意圖。

圖2為本實用新型一種多晶硅片生產車間用上料設備的左視圖。

圖中所示，1、機架，2、移動架，3、固定插架，4、活動插架，5、條形孔， 6、螺栓，7、定位槽8、導向輪，9、限位凸條，10、拉繩位移傳感器，11、操 作平臺，12、顯示屏裝置，13、信號線。

具體實施方式

下面對本實用新型作進一步詳細的說明：