[實用新型]具有增置陽極的鍍膜系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520971347.0
• 申請日: 2015-11-27
• 公開（公告）號: CN205223339U
• 公開（公告）日: 2016-05-11
• 發(fā)明（設計）人: 傅銘桓
• 申請（專利權）人: 廣州巴達精密刀具有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 廣州圣理華知識產(chǎn)權代理有限公司 44302
• 代理人: 頓海舟;李唐明

1.具有增置陽極的鍍膜系統(tǒng)，包括鍍膜室、氣體單元、質量流量控制單元、放電控制 單元、以及真空單元，其特征在于：

所述放電控制單元包括設置于鍍膜室內(nèi)的兩個陰極靶、增置陽極、以及設置于鍍膜室 外的弧電源、穩(wěn)壓電源和多個開關，所述兩個陰極靶包括第一陰極靶和第二陰極靶，增置 陽極包括第一增置陽極和第二增置陽極，弧電源包括第一弧電源和第二弧電源，穩(wěn)壓電源 包括第一穩(wěn)壓電源和第二穩(wěn)壓電源；

所述第一陰極靶與所述第一弧電源的負極相連，所述第一弧電源的正極與所述鍍膜室 通過第三開關相連，第一弧電源的正極與所述第二增置陽極通過第七和第四開關相連；所 述第一穩(wěn)壓電源的負極與所述鍍膜室連接，所述第一穩(wěn)壓電源的正極與所述第一增置陽極 通過第五開關和第一開關連接；

所述第二陰極靶與所述第二弧電源的負極相連，所述第二弧電源的正極與所述鍍膜室 通過第二開關相連，第二弧電源的正極與所述第一增置陽極通過第六開關和第一開關相連； 所述第二穩(wěn)壓電源的負極與所述鍍膜室連接，所述第二穩(wěn)壓電源的正極與所述第二增置陽 極通過第八開關和第四開關連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的具有增置陽極的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：所述第一增置陽極 和/或第二增置陽極的內(nèi)部設有磁鐵。

3.根據(jù)權利要求1所述的具有增置陽極的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：所述第一增置陽極 和第二增置陽極設置為分別與所述第二陰極靶和所述第一陰極靶的位置方向相對。

4.根據(jù)權利要求1所述的具有增置陽極的鍍膜系統(tǒng)，其特征在于：所述第一陰極靶的 材質為鈦，所述第二陰極靶的材質為鋁。