[實用新型]用于靶材加工的水冷管

有效

• 申請號: 201520969665.3
• 申請日: 2015-11-27
• 公開（公告）號: CN205183102U
• 公開（公告）日: 2016-04-27
• 發明（設計）人: 吳小寶
• 申請（專利權）人: 廣州市尤特新材料有限公司
• 主分類號: B05D3/00
• 分類號: B05D3/00
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 胡輝

技術領域

本實用新型涉及用于靶材加工的水冷管研究領域中的一種反應器，特別是一種用于靶材加工的水冷管。

背景技術

現有技術。等離子噴涂粒子射流具有很高的能量，噴射沉積到基管時會加熱基管，溫度可達500℃以上導致基管變形、產生嚴重的熱應力使得基管與靶材分離脫靶、高溫使得靶材氧化和變性?，F有技術為減少噴涂量以降低熱影響。

實用新型內容

本實用新型的目的，在于提供一種用于靶材加工的水冷管。

本實用新型解決其技術問題的解決方案是：用于靶材加工的水冷管，其包括與靶材基管接觸的柱狀管本體，所述管本體的兩端分別連接有第一安裝管和第二安裝管，所述第一安裝管和第二安裝管內部分別設置有第一水道和第二水道，所述管本體內部設置有水冷道，所述水冷道貫穿管本體的兩個端面，所述水冷道的兩端分別和第一水道和第二水道連通。

作為上述技術方案的進一步改進，所述管本體的兩端分別設置有安裝凹槽，所述凹槽的內壁設置有內螺紋，所述第一安裝管與管本體連接的一端設置有第一外螺紋，所述第二安裝管與管本體連接的一端設置有第二外螺紋，所述第一安裝管和第二安裝管分別通過第一外螺紋和第二外螺紋安裝在管本體的內螺紋上。

作為上述技術方案的進一步改進，所述第一安裝管和管本體的螺紋連接處設置有多道密封圈，所述第二安裝管和管本體的螺紋連接處設置有多道密封圈。

作為上述技術方案的進一步改進，所述第一安裝管的一端設置有第一凸臺和第一螺紋臺，所述第一外螺紋設置在第一螺紋臺上，第一安裝管安裝在管本體上后第一凸臺的外表面和管本體的外表面齊平，所述第二安裝管的一端設置有第二凸臺和第二螺紋臺，所述第二外螺紋設置在第二螺紋臺上，第二安裝管安裝在管本體上后第二凸臺的外表面和管本體的外表面齊平。

本實用新型的有益效果是：本實用新型通過將需要熱噴涂的靶材基管套在管本體上，再裝于噴涂架上，第一安裝管和第二安裝管分別接上循環冷卻水，通過冷卻水迅速帶走靶材制程中高能高溫等離子粒子流的熱量，避免熱量帶來的負面影響。本實用新型適用于靶材加工的水冷中。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單說明。顯然，所描述的附圖只是本實用新型的一部分實施例，而不是全部實施例，本領域的技術人員在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他設計方案和附圖。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

以下將結合實施例和附圖對本實用新型的構思、具體結構及產生的技術效果進行清楚、完整地描述，以充分地理解本實用新型的目的、特征和效果。顯然，所描述的實施例只是本實用新型的一部分實施例，而不是全部實施例，基于本實用新型的實施例，本領域的技術人員在不付出創造性勞動的前提下所獲得的其他實施例，均屬于本實用新型保護的范圍。另外，文中所提到的所有聯接/連接關系，并非單指構件直接相接，而是指可根據具體實施情況，通過添加或減少聯接輔件，來組成更優的聯接結構。

參照圖1，用于靶材加工的水冷管，其包括與靶材基管接觸的柱狀管本體3，所述管本體3的兩端分別連接有第一安裝管1和第二安裝管2，所述第一安裝管1和第二安裝管2內部分別設置有第一水道10和第二水道20，所述管本體3內部設置有水冷道30，所述水冷道30貫穿管本體3的兩個端面，所述水冷道30的兩端分別和第一水道10和第二水道20連通。

通過將需要熱噴涂的靶材基管套在管本體3上，再裝于噴涂架上，第一安裝管1和第二安裝管2分別接上循環冷卻水，通過冷卻水迅速帶走靶材制程中高能高溫等離子粒子流的熱量，避免熱量帶來的負面影響。

進一步作為優選的實施方式，所述管本體3的兩端分別設置有安裝凹槽，所述凹槽的內壁設置有內螺紋，所述第一安裝管1與管本體3連接的一端設置有第一外螺紋，所述第二安裝管2與管本體3連接的一端設置有第二外螺紋，所述第一安裝管1和第二安裝管2分別通過第一外螺紋和第二外螺紋安裝在管本體3的內螺紋上，水垢會影響冷卻效果，由于第一安裝管1和第二安裝管2通過螺紋連接安裝在管本體3上，便于拆卸，也便于管本體3定期清理水垢。

進一步作為優選的實施方式，所述第一安裝管1和管本體3的螺紋連接處設置有多道密封圈，所述第二安裝管2和管本體3的螺紋連接處設置有多道密封圈，提高水卻水道的密封性，防止水從第一水道10和水冷道30的連接處或者第二水道20和水冷道30的連接處漏出后濺射到靶材基管。