[實用新型]一種用于分子泵的牽引筒

有效

• 申請號: 201520963281.0
• 申請日: 2015-11-30
• 公開（公告）號: CN205207217U
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發明（設計）人: 鄭榮禧;王秀娟
• 申請（專利權）人: 四川九天真空科技股份有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于流體機械技術領域，尤其是應用于真空泵中，具 體來說涉及一種用于分子泵的牽引筒。

背景技術

分子泵作為一種可以獲得清潔高真空的真空獲得設備，已被廣泛 應用于半導體等行業中。目前，分子泵主要有兩種，一種是渦輪分子 泵，另一種是復合分子泵。其中渦輪分子泵可以獲得較大的抽速，但 難以獲得較大的壓縮比，而在一些半導體行業中，要求在較寬的壓力 范圍內具有較大的抽速，而渦輪分子泵并不合適。

對于復合分子泵，在獲得較大抽速的同時，還可獲得較大的壓縮 比，因此在半導體等行業中被廣泛應用。現有的復合分子泵主要分為 兩類，一類是由渦輪分子泵與盤式牽引分子泵組合設計而成，即帶盤 式牽引結構的復合分子泵；另一類是由渦輪分子泵與筒式牽引分子泵 組合設計而成，即帶筒式牽引結構的復合分子泵。對于第一類復合分 子泵，盡管其具有較大的抽速，但受到盤式牽引分子泵抽氣方式的限 制，其使用率并不高。對于第二類復合分子泵，是現階段使用最為普 遍的復合分子泵，不但具有較大的抽速，同時還具有較高的抽氣效率。

盡管帶筒式牽引結構的復合分子泵在結構上滿足了渦輪級與牽 引級氣流方向的一致性，但是，由于渦輪級抽速與牽引級抽速存在著 較大差別，牽引級與渦輪級之間的這種抽速不匹配會導致復合泵實際 抽速的下降，影響復合分子泵的抽氣效率。只有進一步改善復合分子 泵的牽引級與渦輪級之間的抽速匹配關系，進而縮小實際抽速與理論 抽速之間的差距，才能夠保證復合分子泵良好的抽氣效率和抽氣性 能。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種用于分子泵的牽引 筒，包括：圓筒形的定子和定子內圓柱面上的帶錐度的多條螺旋槽， 多條螺旋槽為由定子內圓柱面上的多條矩形螺旋槽齒形成的矩形斷 面形狀的溝槽，多條螺旋槽自上而下向外張開具有一個錐度。

根據上述一種用于分子泵的牽引筒，其中，圓筒形的定子的內徑 固定不變。

根據上述一種用于分子泵的牽引筒，其中，多條螺旋槽的寬度相 同及多條矩形螺旋槽齒的寬度相同。

根據上述一種用于分子泵的牽引筒，其中，多條螺旋槽的寬度為 10mm～40mm。

根據上述一種用于分子泵的牽引筒，其中，多條螺旋槽的槽深及 容積自上而下逐漸變大。

根據上述一種用于分子泵的牽引筒，其中，多條螺旋槽的螺距為 定子內圓柱面的高度。

根據上述一種用于分子泵的牽引筒，其中，多條矩形螺旋槽齒的 寬度為2mm～10mm。

根據上述一種用于分子泵的牽引筒，其中，錐度為2°～5°。

根據上述一種用于分子泵的牽引筒，其中，圓筒形的定子下部有 定位臺階。

有益效果

本實用新型公開了一種用于分子泵的牽引筒，充分利用圓柱外圓 較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，提高泵的抽氣效果，而通過 螺旋槽通道與抽氣方向之間的夾角(螺旋升角)匹配來達到較理想 的抽氣效果。

附圖說明

圖1是本實用新型公開的一種用于分子泵的牽引筒的側面透視 圖。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步詳細描述，但 不作為對本實用新型的限定。

圖1是本實用新型公開的一種用于分子泵的牽引筒的側面透視 圖，如圖1所示，本實用新型提供了一種用于分子泵的牽引筒，包括： 圓筒形的定子01和定子01內圓柱面上的帶錐度的多條螺旋槽02， 圓筒形的定子01的內徑D固定不變，多條螺旋槽02為由定子01內 圓柱面上的多條矩形螺旋槽齒03形成的矩形斷面形狀的溝槽，多條 螺旋槽02的寬度相同及多條矩形螺旋槽齒03的寬度相同，多條螺旋 槽02的寬度為10mm～40mm，多條矩形螺旋槽齒03的寬度為 2mm～10mm，多條螺旋槽02的槽深及容積自上而下逐漸變大，多條螺 旋槽02的螺距為定子01內圓柱面的高度，多條螺旋槽02自上而下 向外張開具有一個錐度，錐度為2°～5°，圓筒形的定子01下部有 定位臺階04，方便與分子泵裝配。

以上所述，僅是本實用新型較佳的實施方式，并非對本實用新型 的技術方案做任何形式上的限制。凡是依據本實用新型的技術實質對 以上實施例做任何簡單修改，形式變化和修飾，均落入本實用新型的 保護范圍。