[實用新型]具有增強型硅柱的功率器件有效
| 申請號: | 201520960057.6 | 申請日: | 2015-11-27 |
| 公開(公告)號: | CN205122590U | 公開(公告)日: | 2016-03-30 |
| 發明(設計)人: | 步建康;徐朝軍;李士垚 | 申請(專利權)人: | 河北昂揚微電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L29/06 | 分類號: | H01L29/06 |
| 代理公司: | 石家莊科誠專利事務所 13113 | 代理人: | 張紅衛;劉謨培 |
| 地址: | 050022 河北省石家莊市*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 具有 增強 型硅柱 功率 器件 | ||
【權利要求書】:
1.一種具有增強型硅柱的功率器件,其特征在于:包括多晶硅柱,六個多晶硅柱依次相連構成截面為六邊形的元胞,所有元胞相連構成蜂巢狀結構。
2.根據權利要求1所述的具有增強型硅柱的功率器件,其特征在于:每個元胞均與其相鄰的元胞共用同一多晶硅柱。
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