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[實用新型]具有增強型硅柱的功率器件有效

專利信息
申請號: 201520960057.6 申請日: 2015-11-27
公開(公告)號: CN205122590U 公開(公告)日: 2016-03-30
發明(設計)人: 步建康;徐朝軍;李士垚 申請(專利權)人: 河北昂揚微電子科技有限公司
主分類號: H01L29/06 分類號: H01L29/06
代理公司: 石家莊科誠專利事務所 13113 代理人: 張紅衛;劉謨培
地址: 050022 河北省石家莊市*** 國省代碼: 河北;13
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 具有 增強 型硅柱 功率 器件
【權利要求書】:

1.一種具有增強型硅柱的功率器件,其特征在于:包括多晶硅柱,六個多晶硅柱依次相連構成截面為六邊形的元胞,所有元胞相連構成蜂巢狀結構。

2.根據權利要求1所述的具有增強型硅柱的功率器件,其特征在于:每個元胞均與其相鄰的元胞共用同一多晶硅柱。

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