[實(shí)用新型]一種堆疊基板的抓取分離裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520957352.6
• 申請日: 2015-11-26
• 公開（公告）號: CN205248240U
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉大鵬;廖慶林;蔣開發(fā);張勇
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 深圳市康弘知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 胡朝陽;孫潔敏

1.一種堆疊基板的抓取分離裝置，包括：機(jī)臺、設(shè)于機(jī)臺上用于放置堆疊基板的載籃機(jī)構(gòu)、設(shè)于載籃機(jī)構(gòu)下方可向上頂起堆疊基板的頂升機(jī)構(gòu)、設(shè)于載籃機(jī)構(gòu)頂部兩側(cè)可分離堆疊基板的分離機(jī)構(gòu)、設(shè)于載籃機(jī)構(gòu)上方可吸取單個基板的吸取機(jī)構(gòu)、設(shè)于吸取機(jī)構(gòu)一側(cè)可運(yùn)送單個基板的輸送機(jī)構(gòu)；

所述吸取機(jī)構(gòu)可移動單個基板，并將其放置在輸送機(jī)構(gòu)上。

2.如權(quán)利要求1所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述載籃機(jī)構(gòu)包括：橫向設(shè)于頂升機(jī)構(gòu)上方的第一運(yùn)動組件、設(shè)于第一運(yùn)動組件上的載籃，所述第一運(yùn)動組件可帶動載籃在頂升機(jī)構(gòu)的上方橫向往復(fù)運(yùn)動，所述載籃內(nèi)放置有堆疊基板。

3.如權(quán)利要求2所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述頂升機(jī)構(gòu)包括：豎直設(shè)于載籃機(jī)構(gòu)下方的升降桿、與升降桿傳動連接的第二運(yùn)動組件，所述載籃移動到升降桿上方時，所述第二運(yùn)動組件帶動升降桿向上運(yùn)動穿過所述第一運(yùn)動組件頂起基板。

4.如權(quán)利要求3所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述分離機(jī)構(gòu)包括：對稱設(shè)于頂升機(jī)構(gòu)上方的兩支撐板、開口相對設(shè)于兩支撐板頂端的兩分離氣口、與所述分離氣口連接的供氣裝置；所述載籃運(yùn)動至頂升機(jī)構(gòu)上方時，兩支撐板恰好位于所述載籃縱向方向的兩側(cè)。

5.如權(quán)利要求4所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述吸取機(jī)構(gòu)包括：縱向設(shè)于載籃機(jī)構(gòu)上方的第三運(yùn)動組件、設(shè)于第三運(yùn)動組件上的第四運(yùn)動組件、與第四運(yùn)動組件傳動連接的吸盤、與所述吸盤連接的供氣裝置，所述第三運(yùn)動組件可帶動吸盤縱向移動，所述第四運(yùn)動組件可帶動吸盤升降運(yùn)動。

6.如權(quán)利要求5所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述第一運(yùn)動組件上橫向并排設(shè)置有兩組載籃。

7.如權(quán)利要求6所述的抓取分離裝置，其特征在于，每組載籃中設(shè)有至少一個載籃，所述頂升機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有與每組載籃中載籃數(shù)量相對應(yīng)的升降桿，升降桿之間的間距與每組載籃中載籃的間距相配合，每個升降桿上方均設(shè)有分離機(jī)構(gòu)，所述吸取機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)有與每組載籃中載籃數(shù)量相對應(yīng)的吸盤，吸盤之間的間距也與每組載籃中載籃之間的間距相配合。

8.如權(quán)利要求5所述的抓取分離裝置，其特征在于，所述第一運(yùn)動組件、第三運(yùn)動組件可采用包含動力源的導(dǎo)軌滑塊結(jié)構(gòu)，第二運(yùn)動組件可采用電動執(zhí)行件、第四運(yùn)動組件可采用氣動執(zhí)行件，輸送機(jī)構(gòu)可采用傳送帶結(jié)構(gòu)。