[實用新型]一種設于真空腔與真空泵之間的調頻振動隔離裝置有效
| 申請號： | 201520953732.2 | 申請日： | 2015-11-25 |
| 公開（公告）號： | CN205207079U | 公開（公告）日： | 2016-05-04 |
| 發明（設計）人： | 于少鵬;邸士強;湯萍;趙東君;王新鵬;趙沙沙 | 申請（專利權）人： | 綠菱電子材料（天津）有限公司 |
| 主分類號： | F04B39/00 | 分類號： | F04B39/00;F16F15/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 301714 天*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 設于 空腔 真空泵 之間 調頻 振動 隔離 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種設于真空腔與真空泵之間的調頻振動隔離裝置，其特征在于，包括設于真空泵頂端的基座，一端設于基座的雙層彈性隔膜，固定雙層彈性隔膜的另一端的穩定凸緣，設于穩定凸緣下部真空泵上的支撐托桿，設于支撐托桿與穩定凸緣之間的阻尼器及連接于支撐托桿下調諧阻尼器，所述穩定凸緣通過標準法蘭與真空腔連接，所述雙層彈性隔膜的一側通過穿過基座的導管連接真空泵的出口，所述阻尼器包括兩個分別與阻尼支撐托和穩定凸緣貼合的彈性阻尼塊及設于兩個彈性阻尼塊之間的阻尼塊配重，所述調諧阻尼器包括穿過支撐托桿底部和彈性阻尼塊與阻尼塊配重連接的彈簧，與彈簧連接的配重及與配重連接的加速計，所述加速劑連接外部的彈簧諧振頻率調節器。
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