[實用新型]光照-X射線光電子能譜同步分析測試裝置

有效

• 申請號: 201520953338.9
• 申請日: 2015-11-25
• 公開（公告）號: CN205157470U
• 公開（公告）日: 2016-04-13
• 發明（設計）人: 劉佳梅;畢迎普;焦正波;黃曉卷;楊培菊;任偉;牛建中
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘭州化學物理研究所
• 主分類號: G01N23/227
• 分類號: G01N23/227
• 代理公司: 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002
• 代理人: 方曉佳

1.一種光照-X射線光電子能譜同步分析測試裝置，包括置于真空腔室（6）內的X射線源 （1）、電子傳輸透鏡、電子能量分析器（3）和檢測器（4），其特征在于該裝置還包括外載光源， 該外載光源包括光源探頭、光源發生器（2）和光源控制器；所述光源發生器（2）置于真空腔 室（6）的外部，其與光源探頭和光源控制器相連；所述光源探頭發出的光照射樣品（5）表面； 所述光源控制器設置于真空腔室（6）的外部。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于所述光源探頭置于真空腔室（6）的外部，且真 空腔室（6）壁上設有與其對應設置的光學窗口。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于所述光源探頭置于真空腔室（6）內。

4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于所述光源發生器（2）為太陽能模擬器、氙燈、 LED光源、激光器中的一種。

5.如權利要求4所述的裝置，其特征在于所述太陽能模擬器所提供光源的波長范圍為 180nm～3000nm，強度為1～1000mW/cm²。

6.如權利要求4所述的裝置，其特征在于所述氙燈所提供光源的波長范圍為190nm～ 1100nm，強度為1～2000mW/cm²。

7.如權利要求4所述的裝置，其特征在于所述LED光源所提供光源的波長范圍為180nm ～3000nm，強度為1～1000mW/cm²。

8.如權利要求4所述的裝置，其特征在于所述激光器所提供光源的波長范圍為180nm ～3000nm，強度為1～10¹⁵mW/cm²。