[實(shí)用新型]一種設(shè)于真空腔與真空泵之間的振動(dòng)隔離裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520953124.1 | 申請日： | 2015-11-25 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN205172884U | 公開（公告）日： | 2016-04-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 于少鵬;邸士強(qiáng);湯萍;趙東君;王新鵬;趙沙沙 | 申請（專利權(quán)）人： | 綠菱電子材料（天津）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | F04B39/00 | 分類號(hào)： | F04B39/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 301714 天*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 設(shè)于 空腔 真空泵 之間 振動(dòng) 隔離 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種設(shè)于真空腔與真空泵之間的振動(dòng)隔離裝置，其特征在于，包 括設(shè)于真空泵頂端的基座，一端設(shè)于基座內(nèi)的雙層彈性隔膜及固定雙 層彈性隔膜的另一端的穩(wěn)定凸緣，所述穩(wěn)定凸緣通過標(biāo)準(zhǔn)法蘭與真空 腔連接，所述雙層彈性隔膜的一側(cè)通過穿過基座的導(dǎo)管連接真空泵出 口，所述基座底部橫向延伸與穩(wěn)定凸緣形成環(huán)形腔，基座與穩(wěn)定凸緣 底部空隙設(shè)有柔性膜片，所述環(huán)形腔通過增壓口連接外部加壓氣源。
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