[實(shí)用新型]一種微電阻測(cè)量設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520950421.0
• 申請(qǐng)日: 2015-11-25
• 公開（公告）號(hào): CN205301431U
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙千里;王少波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 億和精密工業(yè)（蘇州）有限公司
• 主分類號(hào): G01R27/02
• 分類號(hào): G01R27/02
• 代理公司: 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232
• 代理人: 孟宏偉

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種電阻測(cè)量設(shè)備，具體涉及一種用于對(duì)微小電 阻進(jìn)行測(cè)量的微電阻測(cè)量設(shè)備。

背景技術(shù)

在電子產(chǎn)品領(lǐng)域，為了保證出廠產(chǎn)品的良率，在產(chǎn)品生產(chǎn)完成后， 還需要對(duì)產(chǎn)品的電阻值進(jìn)行測(cè)量。純金屬電阻值精密測(cè)量一般采用傳 統(tǒng)的四聯(lián)回路設(shè)備進(jìn)行測(cè)量，但是在測(cè)量的過程中，傳統(tǒng)的測(cè)量設(shè)備 對(duì)測(cè)量點(diǎn)的位置選取不精確，探針的壓力難以控制，其可能會(huì)對(duì)測(cè)量 的電阻值產(chǎn)生影響。由于測(cè)量產(chǎn)品的電阻值十分微小，只有幾毫歐或 零點(diǎn)幾毫歐，為了提高其測(cè)量精確度，故一種微電阻測(cè)量設(shè)備亟待提 出。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出了一種微電阻測(cè)量設(shè) 備，該設(shè)可以快速有效對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行電阻值的測(cè)量，分辨出合格與不合 格的產(chǎn)品，減少工人的操作復(fù)雜度，提高其檢測(cè)效率。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種電阻測(cè)量設(shè)備，電阻測(cè)量設(shè)備包括：滑動(dòng)平臺(tái)、控制裝置以 及設(shè)置于滑動(dòng)平臺(tái)上可沿XYZ軸三個(gè)方向運(yùn)動(dòng)的微電阻測(cè)試計(jì)，微 電阻測(cè)試計(jì)上設(shè)有一組或多組探針。

本實(shí)用新型一種微電阻測(cè)量設(shè)備采用滑動(dòng)平臺(tái)上的微電阻測(cè)試 計(jì)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行測(cè)量。控制裝置控制微電阻測(cè)試計(jì)沿XY軸運(yùn)動(dòng)，可以 準(zhǔn)確有效地選取產(chǎn)品上的測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量，同時(shí)降低了工作人員的操 作復(fù)雜度。而控制裝置控制微電阻測(cè)試計(jì)沿Z軸運(yùn)動(dòng)，可以有效控制 微電阻測(cè)試計(jì)上的探針與產(chǎn)品測(cè)量點(diǎn)的壓力，防止兩者接觸不良或探 針對(duì)產(chǎn)品壓力過大造成損傷，保證探針對(duì)產(chǎn)品的測(cè)量更精確。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，還可做如下改進(jìn)：

作為優(yōu)選的方案，在滑動(dòng)平臺(tái)上設(shè)置有：Y軸水平組件，包括Y 軸滑塊、Y軸滑軌以及Y軸驅(qū)動(dòng)裝置，Y軸驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)Y軸滑塊 沿Y軸滑軌運(yùn)動(dòng)；X軸水平組件，設(shè)置于Y軸滑塊上，包括X軸滑 塊、X軸滑軌以及X軸驅(qū)動(dòng)裝置，X軸驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)X軸滑塊沿X 軸滑軌運(yùn)動(dòng)；Z軸垂直組件，設(shè)置于X軸滑塊上，包括Z軸滑塊、Z 軸滑軌以及Z軸驅(qū)動(dòng)裝置，微電阻測(cè)試計(jì)設(shè)置于Z軸滑塊上，Z軸驅(qū) 動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)Z軸滑塊沿Z軸滑軌運(yùn)動(dòng)。

采用上述優(yōu)選的方案，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低。

作為優(yōu)選的方案，電阻測(cè)量設(shè)備還包括：設(shè)置于滑動(dòng)平臺(tái)上的用 于承載或運(yùn)輸產(chǎn)品的載具。

采用上述優(yōu)選的方案，便于對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行承載或運(yùn)輸。

作為優(yōu)選的方案，電阻測(cè)量設(shè)備還包括溫度傳感器，溫度傳感器 與控制裝置電連接。

采用上述優(yōu)選的方案，溫度傳感器對(duì)微電阻測(cè)試計(jì)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行測(cè) 量時(shí)的環(huán)境溫度進(jìn)行測(cè)量，對(duì)微電阻測(cè)試計(jì)測(cè)量的產(chǎn)品的電阻值進(jìn)行 溫度補(bǔ)償，消除環(huán)境溫度對(duì)產(chǎn)品電阻的影響，使其檢測(cè)更精確。

作為優(yōu)選的方案，電阻測(cè)量設(shè)備還包括調(diào)零母板。

采用上述優(yōu)選的方案，調(diào)零母板的表面鍍有貴金屬，如：金、銀。 傳統(tǒng)的四聯(lián)回路設(shè)備，需要工作人員將每組探針進(jìn)行接觸短接來實(shí) 現(xiàn)，操作復(fù)雜，一個(gè)工作人員難以實(shí)現(xiàn)。而本申請(qǐng)采用阻值無限小的 調(diào)零母板對(duì)微電阻測(cè)試計(jì)進(jìn)行調(diào)零，操作更便捷。

作為優(yōu)選的方案，調(diào)零母板水平設(shè)置于Z軸滑軌內(nèi)部空腔中， 且調(diào)零母板與母板驅(qū)動(dòng)裝置連接，母板驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)調(diào)零母板運(yùn)動(dòng)。

采用上述優(yōu)選的方案，降低工作人員的操作復(fù)雜度。

作為優(yōu)選的方案，調(diào)零母板包括正面和背面，正面為金屬檢測(cè)面， 背面上設(shè)有卡槽，卡槽內(nèi)鉸接有用于支撐調(diào)零模板的支撐腳。

采用上述優(yōu)選的方案，支撐腳對(duì)調(diào)零模板進(jìn)行良好的支撐，保證 其調(diào)零更有效。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的微電阻測(cè)量設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的Z軸垂直組件、微電阻測(cè)試計(jì)以 及調(diào)零母板的主視圖。

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的產(chǎn)品俯視圖。

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的微電阻測(cè)量設(shè)備的側(cè)視圖之一。

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的微電阻測(cè)量設(shè)備的側(cè)視圖之二。

圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的微電阻測(cè)量設(shè)備的側(cè)視圖之三。

圖8為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的調(diào)零母板背面的結(jié)構(gòu)示意圖。