[實用新型]一種改進結構的四氯化硅汽化裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520945333.1 | 申請日： | 2015-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN205187882U | 公開（公告）日： | 2016-04-27 |
| 發(fā)明（設計）人： | 周駿 | 申請（專利權）人： | 杭州富通翔駿新材料有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 改進 結構 氯化 汽化 裝置 | ||
1.一種改進結構的四氯化硅汽化裝置，包括氣體混合篩網(wǎng)、汽化罐(6)和汽化熱源罐，其特征在于，所述汽化熱源罐上設有三個U型換熱管，安裝在汽化罐一側邊的汽化熱源罐上的三個U型換熱管延伸入汽化罐內(nèi)，并封裝成一體結構；汽化罐和汽化熱源罐之間的整體安裝方向與水平面之間呈15~30度夾角；汽化罐的頂端側設有蒸汽出口管，汽化罐的底端側設有混合物料進口管和排出管；在混合物料進口管上設置一層氣體混合篩網(wǎng)，用于將物料四氯化硅和氫氣充分混合；在汽化罐另一側邊上安裝有液位計，液位計的頂端高于三個U型換熱管中的最高點；汽化熱源罐上的三個U型換熱管分為U型換熱管Ⅰ，U型換熱管Ⅱ，U型換熱管Ⅲ，其中U型換熱管Ⅰ的長度和寬度均大于U型換熱管Ⅱ、U型換熱管Ⅲ的長度和寬度，且U型換熱管Ⅰ環(huán)繞在U型換熱管Ⅱ和U型換熱管Ⅲ的外圍；U型換熱管Ⅱ的長度大于U型換熱管Ⅲ的長度，且U型換熱管Ⅱ與U型換熱管Ⅲ之間相互扣合排列；
汽化熱源罐內(nèi)設有一層絕緣板將該汽化熱源罐分為上層和下層，其中上層與導熱源進口管相連通，且三個U型換熱管的進口端與上層相連通；下層與導熱源出口管相連通，且三個U型換熱管的出口端與下層相連通。
2.根據(jù)權利要求1中所述的一種改進結構的四氯化硅汽化裝置，其特征在于，所述蒸汽出口管設置于汽化罐的最頂端，排出管設置于汽化罐的最底端。
3.根據(jù)權利要求1中所述的一種改進結構的四氯化硅汽化裝置，其特征在于，所述汽化罐內(nèi)的四氯化硅液面高度低于液位計頂端高度，并且高于三個U型換熱管中的最高點。
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