[實(shí)用新型]平板基座支撐裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520944020.4
• 申請(qǐng)日: 2015-11-24
• 公開（公告）號(hào): CN205177802U
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施國(guó)政;亞歷山大·金德爾;何晶;馬利行;馮永平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京國(guó)盛電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/673
• 分類號(hào): H01L21/673;H01L21/683
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體硅外延領(lǐng)域，尤其是涉及一種平板基座支撐裝置。

背景技術(shù)

厚度均勻性是硅外延生產(chǎn)的主要控制參數(shù)，隨著外延產(chǎn)品的質(zhì)量要求不斷提高， 設(shè)備的精確度要求也變得越來越苛刻。現(xiàn)有技術(shù)中的平板基座支撐裝置，譬如，意大利LPE (LiquidPhaseEpitaxial，液相外延)公司的PE3061D外延爐的平板基座支撐裝置，支撐體 與連接頭分離，由于裝配間隙的存在，支撐體與連接頭在軸向上的旋轉(zhuǎn)自由度未固定，導(dǎo)致 基座在慣性下不能精確定位，從而引起硅片搭邊或貼邊，進(jìn)而影響硅片的厚度均勻性。

在水平方向上，支撐體上表面與連接頭下表面存在裝配公差，不能有效保證平行 度。在實(shí)際生產(chǎn)中，為了精確保證安裝在連接頭上端基座的水平，支撐體的垂直度將減小， 從而導(dǎo)致支撐體底部邊緣應(yīng)力集中，容易崩邊，損壞支撐體。

連接頭安裝在支撐體內(nèi)，由于接觸半徑較小，在旋轉(zhuǎn)力矩不變的情況下，接觸處的 扭力較大，易導(dǎo)致疲勞損壞，縮短支撐體的壽命?，F(xiàn)有平板基座支撐裝置如圖1、圖2所示。

連接頭與支撐體的分離，增加了它們之間接觸部位的清潔難度，降低了硅片外延 后的表面質(zhì)量。

設(shè)備維護(hù)時(shí)，連接頭與支撐體的隨機(jī)搭配，維護(hù)質(zhì)量存在不確定性。

因此，亟待解決上述問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

實(shí)用新型目的：本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種平板 基座支撐裝置，來改善外延片厚度均勻性，降低設(shè)備備件的損耗，節(jié)約成本。

技術(shù)方案：本實(shí)用新型公開了一種平板基座支撐裝置，包括由石英制成的圓柱狀 的支撐體，所述支撐體的一端中心開設(shè)用于與伺服電機(jī)相連接的圓柱狀的卡槽，另一端具 有正八邊形的連接頭，該連接頭與支撐體為一體成型。

進(jìn)一步，所述連接頭的內(nèi)切圓直徑為32～32.2mm

其中，所述支撐體的長(zhǎng)度為363～365mm。

優(yōu)選的，所述連接頭的長(zhǎng)度為8.5～9.5mm。

其中，在進(jìn)行裝配時(shí)，所述連接頭嵌入式地與所需安裝的平板基座的底部八角襯 套相連接。

有益效果：本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其優(yōu)點(diǎn)為：本實(shí)用新型通過固定支撐體與 連接頭的軸向旋轉(zhuǎn)自由度，有效降低了基座慣性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭邊 或貼邊的一個(gè)主要影響因素，改善了厚度均勻性；通過去除支撐體與連接頭的裝配公差，相 當(dāng)于提高了支撐體在伺服電機(jī)上的安裝垂直度，降低了支撐體底部崩邊的可能性，減少了 備件損耗；通過增加連接頭內(nèi)切圓半徑，在旋轉(zhuǎn)扭矩不變的情況下，相當(dāng)于減小了支撐體與 連接頭接觸部位的扭力，延長(zhǎng)了支撐體的疲勞壽命；通過將連接頭與支撐體設(shè)置為一體，降 低了它們之間接觸部位的清潔難度，提高了硅片外延后的表面質(zhì)量；通過將連接頭與支撐 體設(shè)置為一體，減少了設(shè)備維護(hù)時(shí)連接頭與支撐體的隨機(jī)搭配，提高了維護(hù)質(zhì)量。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有平板基座支撐裝置裝配圖；

圖2為現(xiàn)有平板基座支撐裝置的縱剖面圖；

圖3為本實(shí)用新型平板基座支撐裝置的縱剖面圖；

圖4為本實(shí)用新型的實(shí)施例的縱剖面構(gòu)造圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步說明。

如圖3、圖4所示，為了解決現(xiàn)有技術(shù)外延片厚度均勻性差、設(shè)備備件壽命較短的問 題，本實(shí)用新型所述的平板基座支撐裝置，包括由石英制成的圓柱狀的支撐體1，所述支撐 體1的一端中心開設(shè)圓柱狀的卡槽2，另一端具有正八邊形的連接頭3，該連接頭3與支撐體1 為一體成型。通過固定支撐體1與連接頭3的軸向旋轉(zhuǎn)自由度，有效降低了基座慣性引起的 位置偏差，排除了引起外延片搭邊或貼邊的一個(gè)主要影響因素，改善了厚度均勻性；通過去 除支撐體1與連接頭3的裝配公差，相當(dāng)于提高了支撐體1在伺服電機(jī)上的安裝垂直度，降低 了支撐體1底部崩邊的可能性，減少了備件損耗。

其中，支撐體1的長(zhǎng)度為363～365mm，連接頭3的長(zhǎng)度為8.5～9.5mm。

其中，連接頭3的內(nèi)切圓直徑為32～32.2mm，增加連接頭3內(nèi)切圓直徑，在旋轉(zhuǎn)扭矩 不變的情況下，相當(dāng)于減小了支撐體1與連接頭3接觸部位的扭力，延長(zhǎng)了支撐體的疲勞壽 命。

在進(jìn)行裝配時(shí)，所述連接頭3嵌入式地與所需安裝的平板基座底部八角襯套相連 接。