[實用新型]一種2英寸芯片光刻膠剝離用花籃

有效

• 申請號: 201520943732.4
• 申請日: 2015-11-24
• 公開（公告）號: CN205194672U
• 公開（公告）日: 2016-04-27
• 發明（設計）人: 劉青;徐現剛
• 申請（專利權）人: 山東華光光電子有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 濟南日新專利代理事務所 37224
• 代理人: 王書剛

1.一種2英寸芯片光刻膠剝離用花籃，包括花籃本體、卡槽單元和支架單元，其特征 是，花籃本體上設置有卡槽單元，每個卡槽單元設置有兩個溝槽，兩個溝槽之間設置有將 其隔開的擋板；花籃本體的底部設置有支撐柱；花籃本體上設置有支架單元。

2.根據權利要求1所述的2英寸芯片光刻膠剝離用花籃，其特征是，所述花籃本體呈 長方體。

3.根據權利要求1所述的2英寸芯片光刻膠剝離用花籃，其特征是，所述卡槽單元在 花籃本體上平行均勻設置。

4.根據權利要求1所述的2英寸芯片光刻膠剝離用花籃，其特征是，所述相鄰卡槽單 元的間距為1.5cm。

5.根據權利要求1所述的2英寸芯片光刻膠剝離用花籃，其特征是，所述支撐柱為圓 柱體。

6.根據權利要求1所述的2英寸芯片光刻膠剝離用花籃，其特征是，所述擋板呈扇形， 其上分布有孔洞。

7.根據權利要求1所述的2英寸芯片光刻膠剝離用花籃，其特征是，所述支架單元由 連接在一起的把手和側架組成。

8.根據權利要求7所述的2英寸芯片光刻膠剝離用花籃，其特征是，所述側架呈三角 形。

9.根據權利要求7所述的2英寸芯片光刻膠剝離用花籃，其特征是，所述把手呈門型。