[實(shí)用新型]一種用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520939008.4
• 申請(qǐng)日: 2015-11-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205223334U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃躍學(xué);鄧喬楓;卞健;林國(guó)強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇豐東熱技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C8/24
• 分類號(hào): C23C8/24
• 代理公司: 無(wú)錫互維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32236
• 代理人: 王愛(ài)偉

1.一種用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，包括真空爐罐、進(jìn)氣系 統(tǒng)和排氣系統(tǒng)，所述進(jìn)氣系統(tǒng)與所述排氣系統(tǒng)通過(guò)所述真空爐罐相連接，所述 進(jìn)氣系統(tǒng)包括第一進(jìn)氣管道及第二進(jìn)氣管道；所述排氣系統(tǒng)包括排氣管道，所 述排氣管道上設(shè)有抽真空系統(tǒng)，其特征在于：

所述第一進(jìn)氣管道上設(shè)有第一進(jìn)氣控制裝置，所述第一進(jìn)氣控制裝置用于 控制所述第一進(jìn)氣管道的進(jìn)氣量；

所述第二進(jìn)氣管道上設(shè)有第二進(jìn)氣控制裝置，所述第二進(jìn)氣控制裝置用于 控制所述第二進(jìn)氣管道的進(jìn)氣量；

所述排氣管道上設(shè)有排氣控制裝置，所述排氣控制裝置用于控制所述排氣 管道的排氣量。

2.如權(quán)利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征 在于：

所述第一進(jìn)氣控制裝置包括第一壓力繼電器、第一減壓閥、第一主路真空 角閥及第一傍路真空角閥；

所述第二進(jìn)氣控制裝置包括第二壓力繼電器、第二減壓閥、第二主路真空 角閥及第二傍路真空角閥。

3.如權(quán)利要求2所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征 在于：

所述第一進(jìn)氣管道上還設(shè)有第一質(zhì)量流量計(jì)及第一流量計(jì)；

所述第二進(jìn)氣管道上還設(shè)有第二質(zhì)量流量計(jì)及第二流量計(jì)。

4.如權(quán)利要求3所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征 在于，所述第二進(jìn)氣管道上設(shè)有單向閥。

5.如權(quán)利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征 在于，所述排氣控制裝置包括蝶形角閥、排氣真空角閥及真空比例閥。

6.如權(quán)利要求5所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征 在于，所述排氣管道上設(shè)有熱交換器。

7.如權(quán)利要求5述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征在 于，所述排氣管道上設(shè)有波紋管。

8.如權(quán)利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征 在于，其還包括與所述真空爐罐連接的真空度檢測(cè)系統(tǒng)，所述真空度檢測(cè)系統(tǒng) 包括智能壓力變送器及真空計(jì)探頭。

9.如權(quán)利要求1所述的用于真空氮化的高精度真空動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，其特征 在于，所述抽真空系統(tǒng)包括羅茨泵和旋片干泵。