[實(shí)用新型]一種掃描電鏡試樣微區(qū)快速定位裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520939005.0
• 申請(qǐng)日: 2015-11-23
• 公開（公告）號(hào): CN205140924U
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉科虹;葛東偉;劉國軍;張建國;李乃浩;王瑩瑩;田光榮;高彤;武松;劉洋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古北方重工業(yè)集團(tuán)有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20
• 代理公司: 包頭市專利事務(wù)所 15101
• 代理人: 莊英菊

1.一種掃描電鏡試樣微區(qū)快速定位裝置，包括：固定架（2），其特征在于，所述固定架 （2）上安裝有支撐塊（4），支撐塊（4）底部設(shè)有與掃描電鏡試樣臺(tái)對(duì)應(yīng)的同心固定桿（3），頂 部設(shè)有夾具，支撐塊（4）上還設(shè)有水平儀（5）；所述支撐塊（4）上方固定安裝有成像管（12）， 成像管（12）一端固定安裝有目鏡（13），另一端安裝有物鏡（11），所述物鏡（11）置于支撐塊 （4）端處。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡試樣微區(qū)快速定位裝置，其特征在于，所述夾具 為兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的夾板（6），夾板（6）固定安裝在軸（7）的兩端，夾板（6）之間的軸（7）上安裝 有彈簧，夾板（6）且能夠在軸（7）上移動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡試樣微區(qū)快速定位裝置，其特征在于，成像管 （12）固定安裝在橫梁（14）上，橫梁（14）兩端通過立柱（15）與固定架（2）固定連接，橫梁（14） 能夠在立柱（15）上上下移動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種掃描電鏡試樣微區(qū)快速定位裝置，其特征在于，橫梁（14） 通過粗調(diào)電機(jī)（9）在立柱上上下移動(dòng)，對(duì)橫梁（14）進(jìn)行粗調(diào)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種掃描電鏡試樣微區(qū)快速定位裝置，其特征在于，橫梁（14） 上還設(shè)有微調(diào)電機(jī)（10），微調(diào)電機(jī)（10）帶動(dòng)橫梁（14）在立柱上上下移動(dòng)，對(duì)橫梁（14）進(jìn)行 微調(diào)。