[實用新型]一種單晶爐

有效

• 申請號: 201520937277.7
• 申請日: 2015-11-20
• 公開（公告）號: CN205099782U
• 公開（公告）日: 2016-03-23
• 發明（設計）人: 陳五奎;劉強;徐文州;樊茂德;任超
• 申請（專利權）人: 樂山新天源太陽能科技有限公司;深圳市拓日新能源科技股份有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 成都點睛專利代理事務所(普通合伙) 51232
• 代理人: 李玉興

1.一種單晶爐，包括上爐膛(1)、下爐膛(2)，上爐膛(1)設置在下爐膛(2)上方且上爐膛(1)通過隔離閥(3)固定在下爐膛(2)頂部，所述上爐膛(1)頂部設置有籽晶旋轉提升機構(4)，所述下爐膛(2)內設置有保溫筒(5)，所述保溫筒(5)內設置有石墨坩堝(6)，所述石墨坩堝(6)內設有石英坩堝(7)，石墨坩堝(6)外側設置有加熱器(8)，加熱器(8)位于保溫筒(5)內，所述加熱器(8)通過加熱電極(9)固定在下爐膛(2)底部，下爐膛(2)的頂部連接有氬氣管(10)，所述氬氣管(10)穿過下爐膛(2)伸入到下爐膛(2)內，所述下爐膛(2)的下部設置有真空抽口(11)，所述真空抽口(11)上連接有排放管(12)，排放管(12)末端連接有真空泵(13)，真空泵(13)的進口與排放管(12)的出口相連，所述石英坩堝(7)上方設置有籽晶夾持裝置(14)，所述籽晶夾持裝置(14)通過傳動桿(15)與籽晶旋轉提升機構(4)相連，所述石墨坩堝(6)底部設置有坩堝旋轉頂升機構(16)，所述石墨坩堝(6)與坩堝旋轉頂升機構(16)之間設置有圓形的石墨托板(17)，其特征在于：所述石墨托板(17)的外表面設置有環形擋板(32)，所述環形擋板(32)的上表面設置有溢流毯(33)，所述溢流毯(33)的上表面安裝有溢流絲，所述溢流絲圍繞石墨托板(17)且設置有至少三圈，溢流絲與報警裝置相連。

2.如權利要求1所述的單晶爐，其特征在于：所述氬氣管(10)上設置有氣體加熱裝置(29)，所述氣體加熱裝置(29)包括柱狀基體(291)，所述柱狀基體(291)內設置有圓柱形的氣體加熱空腔(292)，所述柱狀基體(291)上設置有與氣體加熱空腔(292)連通的進氣口與出氣口，所述進氣口通過氣管與氬氣源(293)連通，所述出氣口與氬氣管(10)連通，所述柱狀基體(291)的表面纏繞有加熱絲(294)，所述加熱絲(294)連接在電源(295)上，所述加熱絲(294)與電源(295)之間設置有溫控表(296)，所述氣體加熱空腔(292)內設置有熱電偶溫度計(297)，所述熱電偶溫度計(297)與溫控表(296)相連接。

3.如權利要求2所述的單晶爐，其特征在于：還包括放大電路(298)，所述熱電偶溫度計(297)與放大電路(298)的輸入端連接，放大電路(298)的輸出端與溫控表(296)相連，所述放大電路(298)包括電阻第一電阻R1、第二電阻R2、第三電阻R3、第四電阻R4、第五電阻R5、第六電阻R6、第七電阻R7、第八電阻R8、第一NMOS管M1、第二NMOS管M2、NMOS管第三NMOS管M3、第四NMOS管M4、第五NMOS管M5、第六NMOS管M6和第七NMOS管M7；熱電偶溫度計D的負極接第一NMOS管M1的源極和第二NMOS管M2的柵極，其正極接地；第一NMOS管M1的漏極通過第一電阻R1接電源VDD，其柵極接第二NMOS管M2的漏極，其源極通過第二電阻R2接地；第二NMOS管M2的漏極通過第三電阻R3接電源VDD，其柵極接第一NMOS管M1的源極，其源極接地；第三NMOS管M3的漏極通過第四電阻R4接電源VDD，其柵極接第四NMOS管M4的漏極，其源極通過第五電阻R5接地；第四NMOS管M4的漏極通過第六電阻R6接電源VDD，其源極接地；第五NMOS管M5的漏極通過第七電阻R7接電源VDD，其柵極接第三NMOS管M3的漏極；第六NMOS管M6的漏極通過第八電阻R8接電源VDD，其柵極接第一NMOS管M1的漏極；第五NMOS管M5和第六NMOS管M6的源極共同接第七NMOS管M7的漏極；第七NMOS管M7的柵極接第三NMOS管M3的源極和第四NMOS管M4的柵極，其源極接地；第八電阻R8與第六NMOS管M6的連接點為放大電路的輸出端。

4.如權利要求3所述的單晶爐，其特征在于：所述下爐膛(2)內設置有環形布氣板(20)，所述環形布氣板(20)水平設置在石墨坩堝(6)的上方，所述環形布氣板(20)為夾層結構，包括第一上層板(201)與第一下層板(202)，所述第一上層板(201)與第一下層板(202)之間密封形成第一夾層空間(203)，所述氬氣管(10)與第一夾層空間(203)連通，所述第一下層板(202)上設置有多個第一透氣孔(204)，所述多個第一透氣孔(204)在第一下層板(202)上均布設置。