[實用新型]一種懸臂梁結構的震動傳感有機場效應晶體管有效
| 申請號： | 201520931728.6 | 申請日： | 2015-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN205241230U | 公開（公告）日： | 2016-05-18 |
| 發明（設計）人： | 錢宏昌;唐瑩;韋一;彭應全 | 申請（專利權）人： | 中國計量學院 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;B81C1/00;G01H11/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310018 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 懸臂梁 結構 震動 傳感 有機 場效應 晶體管 | ||
【權利要求書】：
1.一種懸臂梁結構的震動傳感有機場效應晶體管，其特征在于，包括襯底(1)、懸臂梁(2)、源電極(301)、漏電極(302)、柵電極(303)、有機半導體層(4)、絕緣層(5)和過沖保護層(6)；
其中：懸臂梁一端固定在襯底上，另一端位于襯底上方且中間架空；過沖保護層疊置于襯底上，且過沖保護層位于懸臂梁與襯底之間架空處；源電極和漏電極分別位于懸臂梁上方左右兩側，有機半導體層位于源電極、漏電極和懸臂梁的上方；絕緣層位于有機半導體層上方；柵電極位于絕緣層的上方。
2.根據權利要求1所述的一種懸臂梁結構的震動傳感有機場效應晶體管，其特征在于，所述的懸臂梁在外力作用下會發生形變。
3.根據權利要求1所述的一種懸臂梁結構的震動傳感有機場效應晶體管，其特征在于，所述的過沖保護層能防止懸臂梁在外力作用下超限制形變。
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