[實用新型]一種自動晃籃機

有效

• 申請號: 201520930934.5
• 申請日: 2015-11-23
• 公開（公告）號: CN205211711U
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發明（設計）人: 張運;孫者利
• 申請（專利權）人: 濟南卓微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及半導體材料生產技術領域，尤其是涉及一種硅片酸洗之用途的自動晃籃機。

背景技術

硅片，是制作集成電路的重要材料，通過對硅片的光刻、離子注入等技術，可以制作成各種半導體器件，而用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力，這使得硅片廣泛應用于航空航天、工業、農業和國防，甚至已經進入每一個家庭內。

為了去除硅片表面雜質，需要對硅片進行清洗，目前清洗的方法有物理清洗和化學清洗兩類，其中常見化學清洗方法為酸洗，酸洗后再將殘留在硅片表面的酸用清水清洗干凈。申請號為201410413741.2的發明專利申請中公開了一種硅片清洗裝置，該清洗裝置包括設置在花籃上方的圓板、穿設在圓板中心上且下端封閉的中心圓管，中心圓管外側壁上位于圓板下方的部分環繞中心圓管噴頭，圓板上設有一圈向下噴淋的圓板噴頭，圓板噴頭位于內圓管和外圓管之間部分的正上方，每個圓板噴頭上端均連有一個穿設在圓板上的水管連接頭。該裝置通過兩種噴頭對硅片進行沖洗，保證硅片清洗無死角，但是該裝置清洗用水量大。

發明內容

本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的缺點，提供一種硅片清洗用自動晃籃機，使用時將盛放硅片的花籃放入水槽內，在偏心傳動部分帶動下，硅片實現變速升降，以提升硅片清算效果，采用的技術方案是：一種自動晃籃機，包括機臺，在所述機臺上設有水槽，其特征在于：所述晃籃機還包括掛架，所述掛架一端為鏤空的底板、另一端為掛板；所述晃籃機還包括傳動部分，所述傳動部分包括在電機帶動下轉動的轉軸和連接在所述轉軸上的偏心傳動部件，所述偏心傳動部件通過升降架連接所述掛板。

本實用新型的技術特征還有：所述偏心傳動部件還包括安裝在所述轉軸上的偏心輪和固定在所述偏心輪上的銷軸，所述銷軸穿過所述升降架的長孔。

本實用新型的技術特征還有：所述偏心傳動部件包括導向柱，所述導向柱固定在所述機臺上，所述導向柱穿過所述升降架上的導向孔。

本實用新型的技術特征還有：所述導向柱共三根，其中至少一根導向柱上安裝復位彈簧。

本實用新型的技術特征還有：所述水槽中間還設有擋板，所述擋板穿過所述掛架將所述水槽分割成兩部分。

本實用新型的有益效果在于：本新型改變了現有技術中大量清水沖洗噴淋硅片以洗凈硅片上殘留酸的方式，特別設計了偏心傳動部件帶動硅片變速上下移動，從而增大了硅片受到的水沖擊力，改善了硅片清洗效果，并節約用水；本新型具有結構簡單、沖擊力大、清洗效果好、節約成本之優點。

附圖說明

附圖1是本實用新型示意圖，附圖2是本實用新型傳動部分結構示意圖，附圖3是偏心輪結構示意圖，其中1是機臺，2是減速器，3是轉軸，4是偏心輪，5是銷軸，6是升降架，61是長孔，7是導向柱，8是掛架，81是底板，82是掛板，9是水槽，10是擋板。

具體實施方式

下面結合附圖，對本實用新型的具體實施方式進行說明。本實用新型公開了一種自動晃籃機，用于將酸洗后殘留在硅片上的酸用純水清洗干凈，以實現去掉酸殘留的目的。該機包括機臺1、掛架8和傳動部分，在機臺1上設有水槽9，在水槽9內充有純水。在水槽9內裝有擋板10，由擋板10將水槽分為兩部分，兩部分水槽內均可用于沖洗硅片，為了保證良好的沖洗效果，最好將硅片盛放在花籃內（圖中未示出），以保證相鄰硅片之間有間隙，保證沖洗的干凈程度。

掛架8一端為鏤空的底板81、另一端為掛板82，本實施例中為U型掛板，硅片或者盛放硅片的花籃位于底板81上。

傳動部分包括在電機（圖中未示出）帶動下轉動的轉軸3和連接在轉軸3上的偏心傳動部件，偏心傳動部件通過升降架6連接掛板82，本實施例中給出的實施例是通過U型掛板將掛架8掛在升降架6上，這樣，升降架6帶動掛架8一起動作，進而帶動放置在底板81上的硅片一起動作，完成殘酸沖洗。

偏心傳動部件包括安裝在轉軸3上的偏心輪4和固定在偏心輪4上的銷軸5，銷軸5穿過升降架6的長孔61，當偏心輪4轉動時，銷軸5帶動升降架6一起動作。

偏心傳動部件還包括導向柱7，導向柱7固定在機臺1上，導向柱7穿過升降架6上對應的導向孔，實現對升降架6的導向。本實施例中導向柱7共三根，其中至少一根導向柱（比如中間的導向柱）上安裝復位彈簧。

使用時，首先將純水注入水槽9內，電機帶動偏心輪轉動，進而帶動升降架6和掛架8上下變速移動，放置在底板81上的硅片也隨之運動，完成硅片的沖水清洗。

當然，上述說明并非對本實用新型的限制，本實用新型也不僅限于上述舉例，本技術領域的普通技術人員在本實用新型的實質范圍內所做出的變化、改型、添加或替換，也屬于本實用新型的保護范圍。