[實用新型]適用于圓片光刻工藝的感應裝置有效
| 申請號： | 201520929784.6 | 申請日： | 2015-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN205193428U | 公開（公告）日： | 2016-04-27 |
| 發明（設計）人： | 史進;伍志軍 | 申請（專利權）人： | 蘇州賽森電子科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京眾聯專利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顧進 |
| 地址： | 215699 江蘇省蘇州市張*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 適用于 光刻 工藝 感應 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種適用于圓片光刻工藝的感應裝置，其包括有用于對圓片進行傳輸的上料裝置，其特征在于，所述上料裝置的前端部設置有感應支架，感應支架之上設置有接近開關，接近開關與上料裝置彼此相對。
2.按照權利要求1所述的適用于圓片光刻工藝的感應裝置，其特征在于，所述感應支架與上料裝置的相對端面之上設置有安置槽體，安置槽體的上端面設置有安置孔，所述接近開關通過安置孔連接至感應支架之上，接近開關的下端部延伸至安置槽體內部。
3.按照權利要求2所述的適用于圓片光刻工藝的感應裝置，其特征在于，所述接近開關的下端部連接有傳輸線纜，所述安置槽體的下端部設置有延伸孔，其與安置孔同軸延伸；所述傳輸線纜經由延伸孔延伸至外部。
4.按照權利要求3所述的適用于圓片光刻工藝的感應裝置，其特征在于，所述接近開關與安置孔上端部與下端部的連接位置分別設置有橡膠減震圈。
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