[實用新型]顯微鏡簡易觀測底座

有效

• 申請號: 201520916512.2
• 申請日: 2015-11-17
• 公開（公告）號: CN205091503U
• 公開（公告）日: 2016-03-16
• 發明（設計）人: 于凱;劉運
• 申請（專利權）人: 濰坊星泰克微電子材料有限公司
• 主分類號: G02B21/26
• 分類號: G02B21/26
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種顯微鏡簡易觀測底座。

背景技術

在光刻膠的研發測試中，經過涂布、烘烤、曝光、顯影等過程后，在硅片或藍寶石襯底表面形成所需要的光刻膠圖形，由于圖形為微米級別，必須經過顯微鏡或電子掃描電鏡來觀察圖形的形貌，通過對光刻膠圖形的分析來判定光刻膠性能的好壞。

目前用于觀測光刻膠圖形的儀器主要有顯微鏡和掃描電鏡。通過顯微鏡對襯底表面的圖形平面進行觀測，并通過配套軟件在計算機上獲取圖片進行數據分析，從而對圖形的形貌、分辨率、線寬比等有一個直觀的結果。通過掃描電鏡對襯底表面的圖形切面進行觀測，同樣獲得圖片來分析圖形的切面形狀與厚度。

由于掃描電鏡這一儀器較為昂貴，一般中小型企業或單位較少能夠負擔，主要在各科研機構或大型集中型檢測平臺使用，且操作要求較高，這對尤其是需要進行大量觀測襯底切面圖形實驗的中小型企業，在產品研發上的成本和精力造成壓力和不便。而顯微鏡相對來說價格便宜，使用方便，也是光刻膠研發實驗室不可或缺的常用儀器。

顯微鏡用于觀測襯底平面圖形非常方便，將其水平置于觀物臺上，調整焦距即可。但目前顯微鏡的觀物臺不能固定不到1毫米厚度的襯底切面，因此無法進行切面觀測。

使用掃描電鏡觀測襯底切面較為昂貴，且費時費力，但顯微鏡目前沒有可以固定襯底切片的裝置。

實用新型內容

本發明的目的是設計了一種簡易的顯微鏡觀測底座，以解決光刻膠研發測試過程中，因采用顯微鏡觀察襯底切面但無法固定的問題，它可以固定住較薄的光刻膠襯底，使中小型實驗室人員可以通過顯微鏡，方便快捷的對襯底切面的圖形進行觀測。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案。

針對顯微鏡無法觀測薄片切面圖形的問題，本申請發明了一種結構簡單，操作方便的顯微鏡固定底座設備。該設備解決了光刻膠研發過程中因硅片太薄，而無法實現切面圖形實時觀測的問題，大大擴展了顯微鏡的使用范圍，提高了儀器利用率，提高了光刻膠的研發效率。

顯微鏡簡易觀測底座，包括放置于顯微鏡載物臺上的圓形底盤，圓形底盤上設有卡槽，卡槽包括橡膠內條和金屬外條，金屬外條上設有螺栓孔，固定螺絲穿過螺栓孔并與橡膠內條連接。

采用圓形底座，可以直接放置于顯微鏡原有載物臺上的圓形底盤上。垂直于圓形底座，在該底座的直徑方向上安裝卡槽，用于垂直卡住觀察樣品。卡槽外部方條采用金屬材質，提高底座的使用壽命，內部方條采用橡膠材質，增強對薄片的厚度寬容性，減少觀測時對觀察樣品的損傷。卡槽外部方塊中間有螺絲孔配有固定螺絲，固定螺絲旋入方塊時推動橡膠條，使得兩塊橡膠條縫隙減小直到閉合。這樣安裝樣品時可旋轉螺絲，緊固內部橡膠條，固定觀察樣品。卡槽的高度不宜太高，用于觀測的薄片寬度也不宜過寬，在進行薄片切面觀測時，將其垂直置于卡口中，放于顯微鏡底盤上，調節聚焦直到出現清晰影像即可。

本實用新型的有益效果是，很大程度上擴展了顯微鏡的觀測使用范圍，提高了儀器利用率，降低了研發過程中儀器檢測的成本與精力，使實驗人員能夠方便快捷的通過顯微鏡觀測較薄襯底的切面圖形。

當然，實施本實用新型的任一產品并不一定需要同時達到以上所述的所有優點。

附圖說明

圖1是本實用新型整體結構示意圖。

其中，1、圓形底盤；2、橡膠內條；3、金屬外條；4、固定螺絲。

具體實施方式

下面將結合附圖對本實用新型的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，術語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。