[實用新型]軟光刻用實驗臺

有效

• 申請號: 201520912389.7
• 申請日: 2015-11-16
• 公開（公告）號: CN205247056U
• 公開（公告）日: 2016-05-18
• 發明（設計）人: 林敏;李蓉
• 申請（專利權）人: 四川航達機電技術開發服務中心
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 成都元信知識產權代理有限公司 51234
• 代理人: 劉冬靜

1.軟光刻用實驗臺，其特征在于：包括箱體(1)，箱體(1)安裝有單片 機控制臺(2)，還安裝有照明系統、加熱系統、紫外光照系統及壓力控制系統； 箱體底部為一個水平度可調節的操作臺(7)，操作臺上有夾具；箱體(1)內頂 部安裝有光源裝置，照明系統的日光燈、加熱系統的碘鎢燈和紫外光照系統的 紫外燈安裝在其中；加熱系統還包括箱體(1)內兩側壁上的溫度傳感器(5) 和操作臺(7)兩側的加熱器(6)；壓力控制系統包括與箱體(1)聯通的真空 泵(4)，真空泵(4)旁安裝有氣壓表。

2.根據權利要求1所述的軟光刻用實驗臺，其特征在于：箱體(1)兩側 有2個圓孔與伸入箱內的操作手套相連接。