[實(shí)用新型]一種相變閥裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201520910458.0 | 申請(qǐng)日： | 2015-11-16 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN205315780U | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-06-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 高猛;桂林 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所 |
| 主分類號(hào)： | F16K13/00 | 分類號(hào)： | F16K13/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100190 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 相變 裝置 | ||
1.一種相變閥裝置，其特征在于：包括流道層和相變層；
所述流道層上開(kāi)設(shè)有微流道，所述相變層上靠近所述流道層的一側(cè)開(kāi)設(shè)有相變微腔道；
所述流道層與相變層之間設(shè)有可變形的第一柔性薄膜，用于隔開(kāi)所述微流道和相變微腔道；
所述相變微腔道中間設(shè)有可變形的第二柔性薄膜，將所述相變微腔道分割為上腔和下腔；
所述上腔填充有液態(tài)金屬，同時(shí)下腔填充有相變材料；或所述上腔填充有相變材料，同時(shí)下腔填充有液態(tài)金屬；
所述液態(tài)金屬用于加熱所述相變材料實(shí)現(xiàn)所述相變材料膨脹或收縮。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相變閥裝置，其特征在于：所述相變材料為石蠟。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的相變閥裝置，其特征在于：所述相變材料填充于所述下腔內(nèi)，所述液態(tài)金屬填充于所述上腔內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的相變閥裝置，其特征在于：所述液態(tài)金屬為鎵銦合金或鎵銦錫合金。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相變閥裝置，其特征在于：所述微流道和相變微腔道均采用刻蝕工藝制成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相變閥裝置，其特征在于：所述第一柔性薄膜和第二柔性薄膜均采用旋涂工藝制成。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相變閥裝置，其特征在于：所述微流道的橫截面為半圓弧狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相變閥裝置，其特征在于：所述相變微腔道與所述微流道相垂直。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相變閥裝置，其特征在于：所述流道層和相變層材料均為PDMS、PMMA、石英或硅。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的相變閥裝置，其特征在于：所述第一柔性薄膜和第二柔性薄膜的材料為PDMS，且所述第一柔性薄膜和第二柔性薄膜的厚度為5～100μm。
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