[實用新型]一種壓力燒結高密度ITO旋轉靶材

有效

• 申請號: 201520909787.3
• 申請日: 2015-11-16
• 公開（公告）號: CN205295447U
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 胡茂橫
• 申請（專利權）人: 深圳恒泰克科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及磁控濺射鍍膜靶材、觸摸屏靶材領域，尤其是一種壓力燒結高密度ITO旋轉靶材。

背景技術

ITO靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫氣氛燒結(1600度，通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體。

ITO靶材主要是在平板顯示器中得到廣泛的運用，靶材主用是在半導體中運用廣泛，科技發展的迅速，讓電子行業在市場中占據很大的份額，直接影響到了人們的工作和生活，ITO靶材有極高的性能優勢，而且有比較高的耐熱沖擊性，在使用中不會對設備造成損壞，同時它的純度特別的高，目前，市場中很多電子產品都用到了平面顯示器，液晶電腦、液晶電視進入到了千家萬戶，液晶的產品不管是在外觀上還是在質地上都是比較高的，而且能夠降低耗能，ITO靶材被廣泛運用到了電子領域，因為電子領域對于材料的要求普遍比較高，它為電子行業的發展起到一定的推進作用，同時靶材能夠延長電子產品的使用壽命，而且質量也比較符合檢測標準，一般很少會出現產量不合格的現象，同時在外觀上也能符合人們的要求。

ITO靶材在目前的市場中使用廣泛，而生產它的方法有多種，在以前，它的生產技術并不是很好，為了滿足人們的需求才有了常壓燒結法，最初的生產方法就是真空熱壓法，使用這種方法生產靶材不僅花費的成本比較高，而且不能夠提高工作的效率，對于企業來說不僅提高了投資的成本，而且并沒有讓產品的質量得到改善；最近這些年，發明了一種常壓燒結法來生產ITO靶材，主要通過預壓的工作來實現對靶材的生產，而這種方法不僅能夠讓生產出的靶材密度比較均勻，而且降低了生產中的成本，用這種方法生產出來的靶材能夠用于高端顯示器中，但現有的ITO靶材采用常壓或微正壓燒結，造成ITO靶材密度較低，其性能還存在很大提升空間。

實用新型內容

本實用新型提供如下技術方案：一種壓力燒結高密度ITO旋轉靶材，包括高密度ITO旋轉靶材，所述高密度ITO旋轉靶材整體呈圓筒形，高密度ITO旋轉靶材內部設有內襯管，該內襯管與高密度ITO旋轉靶材之間設有邦定層。

作為本實用新型的進一步方案：所述內襯管的材料為鈦。

作為本實用新型的進一步方案：所述邦定層的材料為銦。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該壓力燒結高密度ITO旋轉靶材為高密度ITO旋轉靶材，采用壓力燒結的方式制造而成，密度高達99%以上，性能優良，靶材密度比較均勻，值得大力推廣。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖2為本實用新型的邦定示意圖。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例，基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1-2，本實用新型實施例中，一種壓力燒結高密度ITO旋轉靶材，包括高密度ITO旋轉靶材1，所述高密度ITO旋轉靶材1整體呈圓筒狀，高密度ITO旋轉靶材1內部設有內襯管2，該內襯管2的材料為鈦，內襯管2與高密度ITO旋轉靶材1之間設有邦定層3，該邦定層3的材料為銦。

高密度ITO旋轉靶材1的制造方法：本方法采用共沉淀的ITO納米粉（In2O3:SnO比例從80:20～99:1），加膠0.1～1.5%，進行攪拌，干燥，然后用剛性芯桿和軟膠材料包扎進行壓制，壓制壓力為50-300MPa，從而獲得圓管形的已成形生坯；將生坯外圓表面、端面進行加工后放入壓力氣氛燒結爐中進行燒結，通入0.3-30l/min的純氧，并隨著溫度的提高逐步提高壓力，燒結溫度為1500-1650C；由此獲得密度高達99%以上的ITO旋轉靶材。

本實用新型的具體加工流程：一、采用共沉淀的ITO納米粉（In2O3:SnO比例從80:20～99:1），按ITO粉的重量加水1-3倍、加粘接劑0.2～1.5%，進行攪拌混合，噴霧干燥。

二、用剛性芯桿和軟膠材料包扎進行壓制，壓制壓力為50-300MPa，從而獲得圓管形的已成形生坯：1、將壓制工具的上堵頭打開；2、裝入已經噴霧干燥的ITO粉；3、均勻壓實裝緊后蓋上堵頭，扎緊兩端；4、放入冷等靜壓機壓制；壓制壓力100-300MPa，時間3-15分鐘；5、壓制完成后取出壓成的生坯，進行外形機加工；6、加工完成即可進行燒結。