[實(shí)用新型]一種帶靜電液霧清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520899117.8
• 申請(qǐng)日: 2015-11-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205092223U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮曉敏;吳儀
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 陶金龍;張磊

1.一種帶靜電液霧清洗裝置，其特征在于，包括一本體，所述本體內(nèi)設(shè)有一液體流道，環(huán)繞液體流道設(shè)有氣體緩沖腔，所述液體流道連通本體下端面設(shè)有的液體出口，所述氣體緩沖腔連通本體下端面環(huán)繞液體出口密布設(shè)置的多數(shù)個(gè)氣體出口，所述液體流道、氣體緩沖腔各自連通本體上設(shè)有的液體進(jìn)口、氣體進(jìn)口；其中，通過(guò)由液體進(jìn)口通入清洗液體，經(jīng)液體流道從液體出口噴出，形成霧化液滴，由氣體進(jìn)口通入帶電離子風(fēng)，經(jīng)氣體緩沖腔從氣體出口噴出，接觸使霧化液滴帶電，以對(duì)其下方晶圓進(jìn)行沖洗及去除晶圓表面的靜電。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述液體流道垂直設(shè)于本體內(nèi)，其具有一段先逐漸擴(kuò)張、再逐漸收縮至液體出口的液體緩沖腔，所述液體流道連通本體上端面設(shè)置的液體進(jìn)口。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的清洗裝置，其特征在于，所述液體出口為孔形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的清洗裝置，其特征在于，所述液體出口包括一中心孔以及環(huán)繞中心孔設(shè)置的環(huán)形狹縫。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的清洗裝置，其特征在于，所述環(huán)形狹縫朝向中心孔的外側(cè)向下傾斜設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述本體側(cè)部設(shè)有一至若干個(gè)氣體進(jìn)口，所述氣體進(jìn)口按與本體垂直軸向成一定夾角向下傾斜設(shè)置，并連通氣體緩沖腔。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的清洗裝置，其特征在于，所述本體側(cè)部設(shè)有一至若干個(gè)氣體進(jìn)口，所述氣體進(jìn)口按與氣體緩沖腔的水平切向設(shè)置，并連通氣體緩沖腔。

8.根據(jù)權(quán)利要求1、6或7所述的清洗裝置，其特征在于，所述氣體緩沖腔包括上下連通設(shè)置的第一、第二氣體緩沖腔，所述第一氣體緩沖腔連通氣體進(jìn)口，所述第一、第二氣體緩沖腔之間具有截面呈收縮形的連通段。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的清洗裝置，其特征在于，自第一氣體緩沖腔向第二氣體緩沖腔具有圓滑過(guò)渡的腔壁。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的清洗裝置，其特征在于，所述第一氣體緩沖腔的容積小于第二氣體緩沖腔。