[實用新型]一種激光器

有效

• 申請號: 201520882291.1
• 申請日: 2015-11-06
• 公開（公告）號: CN205159779U
• 公開（公告）日: 2016-04-13
• 發明（設計）人: 秦應雄;陳漢元;彭浩;萬辰皓;龍思琛;巫詳曦;唐霞輝
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: H01S3/0941
• 分類號: H01S3/0941;H01S3/038;H01S3/08
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 廖盈春

1.一種激光器，其特征在于，包括半導體激光器(1)、光學整形系統(2)、平板電極對(3)、耦合反射鏡(4)、反射鏡(5)、匹配網絡(6)、射頻電源(7)、放電腔(8)、尾鏡(14)和輸出鏡(15)；

所述耦合反射鏡(4)和反射鏡(5)的反射面相對、分別位于平板電極對(3)之間放電區域的兩端面；所述尾鏡(14)和輸出鏡(15)分別位于平板電極對(3)之間放電區域的兩個側面，尾鏡(14)、輸出鏡(15)和放電腔(8)共同組成光學非穩諧振腔，輸出鏡(15)用于激光束輸出；所述耦合反射鏡(4)幾何形狀與反射鏡相同，其反射面上開設有透光窗口，用于泵浦光透射進入放電腔；所述透光窗口的大小、形狀與泵浦光斑放電腔(8)端面的形狀、大小相對應；

所述射頻電源(7)通過匹配網絡(6)與平板電極對(3)連接；所述平板電極對(3)由兩塊平板電極組成，平行安裝于放電腔(8)的內壁兩側，用于對放電腔(8)內的工作氣體進行射頻放電；所述平板電極對(3)由金屬制成，對泵浦光和輸出激光有反射作用；

工作中，半導體激光器(1)產生泵浦光，發出的泵浦光經過光學整形系統(2)匯聚成與耦合反射鏡(4)的透光窗口相匹配的光斑，透射注入至放電腔(8)中；產生的激光束經輸出鏡(15)輸出。

2.根據權利要求1所述的激光器，其特征在于，所述放電腔(8)中的放電介質為稀有氣體；半導體激光器(1)所發激光的中心波長與放電腔(8)內放電介質射頻放電后產生的氣體粒子的吸收譜線相匹配。

3.根據權利要求1或2所述的激光器，其特征在于：所述的耦合反射鏡(4)在面向泵浦光入射的一面和泵浦光透光窗口處分別鍍有一層對該泵浦光的高透射率膜(12)，耦合反射鏡(4)其余部分鍍有一層對該泵浦光的高反射率膜(13)；或者耦合反射鏡(4)在面向泵浦光入射的一面開設的透光窗口和靠近平板電極對的另一面鍍有一層對該泵浦光的高透射率膜(12)，其他部分鍍有對該泵浦光的高反射率膜(13)。

4.根據權利要求1或2所述的激光器，其特征在于，所述平板電極對(3)由鋁或銅制成，其面向放電區域的表面高度光潔，或鍍有一層同時具有對泵浦光和輸出激光高反射特性的反射膜(9)。

5.根據權利要求1或2所述的激光器，其特征在于，所述平板電極對(3)內部設置有水冷通道。

6.根據權利要求1或2所述的激光器，其特征在于，所述放電腔(8)由金屬或陶瓷材料制成。