[實(shí)用新型]四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520866946.6
• 申請(qǐng)日: 2015-11-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205122989U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐海軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京熱刺激光技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01S3/22
• 分類(lèi)號(hào): H01S3/22;H01S3/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器；其中四腔室包括：中心的氣密激光腔，和圍繞在氣密激光腔周?chē)墓馐吻弧⒌凸β噬漕l腔、高功率射頻腔；四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器主要包括四腔室和附著于四腔室上的各功能配件；四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器整體采用氣密激光腔在內(nèi)，光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔分布于其周?chē)囊惑w式結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器整體呈長(zhǎng)方體形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

氣密激光腔位于四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器的中心位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于，

光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔分布于氣密激光腔的外圍。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

氣密激光腔、光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔是在一塊鋁材上加工而成，它們是一個(gè)整體。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

還包括：在光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔外都有蓋板密封各自腔室。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

在光束整形腔外有一用于密封防塵的蓋板。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

在低功率射頻腔外有一用于密封防塵和屏蔽的蓋板。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

在高功率射頻腔外有一用于密封防塵和屏蔽的蓋板。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

在低功率射頻腔與氣密激光腔之間安裝有預(yù)電離電極。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

在高功率射頻腔與氣密激光腔之間安裝有射頻電極。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

在光束整形腔內(nèi)安裝有光束整形鏡和直流電源。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

在氣密激光腔內(nèi)安裝有正電極板和負(fù)電極板，射頻電極穿過(guò)腔殼與正電極板連接。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

在氣密激光腔的一端安裝有全反射鏡，在另一端安裝有部分反射鏡，在部分反射鏡的外側(cè)安裝有折返鏡座，在折返鏡座上裝有兩片反射鏡，將部分反射鏡窗口輸出的激光束折反到光束整形腔內(nèi)，激光束通過(guò)光束整形腔內(nèi)的光束整形鏡整形成接近于圓形光束平行輸出。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

高功率射頻腔由控制單元、高功率射頻單元組成，并且腔內(nèi)安裝有大功率穿芯電容用于引入電流，旁邊還有負(fù)極線(xiàn)連接孔。

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：

低功率射頻腔由驅(qū)動(dòng)分配單元、驅(qū)動(dòng)單元、預(yù)電離單元組成。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：低功率射頻腔內(nèi)的各單元之間都是各自獨(dú)立的，各單元之間的導(dǎo)線(xiàn)都安裝在線(xiàn)槽內(nèi)，這樣確保線(xiàn)路信號(hào)不受干擾；控制信號(hào)從控制單元進(jìn)入低功率射頻腔是通過(guò)同軸的一對(duì)穿芯電容實(shí)現(xiàn)的，這樣防止高功率射頻單元內(nèi)射頻電流對(duì)控制信號(hào)的干擾。

18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器，其特征在于：四腔室結(jié)構(gòu)射頻激光器主要由一體的氣密激光腔、光束整形腔、低功率射頻腔、高功率射頻腔和附著其上的正極板、負(fù)極板、射頻電極、預(yù)電離電極、全反射鏡、部分反射鏡、全反法蘭、半反法蘭、折返鏡、光束整形鏡、直流電源、控制單元、高功率射頻單元、驅(qū)動(dòng)分配單元、驅(qū)動(dòng)單元、預(yù)電離單元、冷卻系統(tǒng)這些部分組成。