[實用新型]一種藍寶石晶片的研磨裝置

有效

• 申請號: 201520854854.6
• 申請日: 2015-10-29
• 公開（公告）號: CN205148037U
• 公開（公告）日: 2016-04-13
• 發明（設計）人: 趙元亞;王晨宇;王祿寶
• 申請（專利權）人: 江蘇吉星新材料有限公司
• 主分類號: B24B37/08
• 分類號: B24B37/08;B24B37/04;B24B37/34;B24B57/02
• 代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258
• 代理人: 陳麗君

技術領域

本實用新型涉及藍寶石襯底片的加工領域，特別是涉及一種藍寶石晶片的研磨裝置。

背景技術

藍寶石晶片研磨是藍寶石晶片制造中非常重要的一項工藝流程，它決定了藍寶石研磨后的TTV和WARP，以及表面粗糙度，現有的技術在應用中，一般先對漿料進行攪拌，然后倒入漿料桶中，使用漿料泵加輸送管的方式，把漿料輸送到研磨盤面上進行供給，研磨后的漿料重新回到漿料桶中，再循環利用，實際在研磨粉配置過程中，漿料攪拌往往很不均勻，沒有完全攪拌開，研磨漿料懸浮性差，很容易造成晶片破裂和粗糙度超差的情況，這些崩邊和破裂的晶片顆粒會進入到漿料中，循環使用再次輸送到盤面上，會造成整桶漿料不能繼續使用而浪費，研磨的晶片表面劃傷，出現劃痕，嚴重時會產生整盤爆盤，晶片全部損失的情況，加上研磨工藝過程控制不到位，造成研磨優質率下降，成本增高。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提出了一種藍寶石晶片的研磨裝置及其研磨方法。

為解決以上技術問題，本實用新型提供的技術方案是:

一種藍寶石晶片的研磨裝置，其特征在于，包括漿料桶、蠕動泵和研磨機，所述蠕動泵包括2個泵頭、輸送管和泵出管，所述泵頭對輸送管進行輸送控制，所述輸送管和泵出管上分別套合有輸送軟管和泵出軟管，所述研磨機包括橫梁、漿料槽、研磨上盤和研磨下盤，所述橫梁上設有控制氣缸和軟管支架，所述控制氣缸豎直設置，包括氣缸桿，所述氣缸桿豎直朝下，并通過軸承與研磨上盤轉動連接，實現研磨上盤在豎直方向上的運動和水平方向上的轉動，所述漿料槽固定設置于研磨上盤上方，位于橫梁和研磨上盤之間，并與研磨上盤固接，漿料槽呈圓環形的溝槽狀，開口朝上，其下端面均勻設置于36個漏口，所述研磨上盤上設有36個貫穿研磨上盤的管接頭，所述管接頭均勻排布，并通過透明軟管與漏口連接，連通漿料槽；

所述漿料桶放置于研磨機一側，所述蠕動泵放置于研磨機的臺面上，所述輸送軟管的一端通過捆縛重物的方式，沉與漿料桶底部，所述泵出軟管的一端通過軟管支架可拆卸式固定于漿料槽正上方，并均勻分布，泵出軟管的出口正對漿料槽；

進一步的，所述蠕動泵數量至少為2臺；

進一步的，所述輸送軟管和泵出軟管為直徑為8毫米的透明軟管；

進一步的，所述研磨機上設有漿料排出口，所述漿料排出口配備有廢漿料桶。

本實用新型所述的一種藍寶石晶片的研磨裝置及其研磨方法，具有以下特點：

（1）通過研磨機上盤上方的漿料槽，配合均勻分布的36個管接頭，能夠把漿料非常均勻的輸送到研磨盤面的相應位置，保證了漿料輸送的均勻性，同時保證了研磨的品質；

（2）通過使用蠕動泵取代傳統的漿料泵的方式，漿料雖然沒有循環使用，但是蠕動泵輸送漿料更具有均勻性，也采用了較小的流量控制，漿料的耗用量并沒有增加，材料成本沒有上升；

（3）通過使用蠕動泵取代傳統的漿料泵的方式，使漿料不再循環使用，帶有晶片崩邊和破裂顆粒的漿料不會再次循環到盤面上，極大的減少了劃痕和破片，爆盤事故的發生，減少了異常損失；

（4）研磨的移除率更加穩定，不會產生過磨或移除率低的問題，且效率比較快，能達到1.8um/min的移除率，提高了設備效率。

附圖說明

圖1供給裝置示意圖。

圖2漿料槽示意圖。

具體實施方式

如圖所示的一種藍寶石晶片的研磨裝置，其特征在于，包括漿料桶1、蠕動泵2和研磨機3，所述蠕動泵2包括2個泵頭4、輸送管5和泵出管6，所述泵頭4對輸送管5進行輸送控制，所述輸送管5和泵出管6上分別套合有輸送軟管7和泵出軟管8，所述研磨機3包括橫梁9、漿料槽10、研磨上盤11和研磨下盤19，所述橫梁9上設有控制氣缸12和軟管支架13，所述控制氣缸12豎直設置，包括氣缸桿14，所述氣缸桿14豎直朝下，并通過軸承與研磨上盤11轉動連接，實現研磨上盤11在豎直方向上的運動和水平方向上的轉動，所述漿料槽10固定設置于研磨上盤11上方，位于橫梁9和研磨上盤11之間，并與研磨上盤11固接，漿料槽10呈圓環形的溝槽狀，開口朝上，其下端面均勻設置于36個漏口15，所述研磨上盤11上設有36個貫穿研磨上盤11的管接頭16，所述管接頭16均勻排布，并通過透明軟管與漏口15連接，連通漿料槽10；