[實用新型]一種晶棒表面漿料回收的前處理裝置

有效

• 申請號: 201520851441.2
• 申請日: 2015-10-30
• 公開（公告）號: CN205148649U
• 公開（公告）日: 2016-04-13
• 發明（設計）人: 朱孝吉;王祿寶
• 申請（專利權）人: 江蘇美科硅能源有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/00
• 代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙) 31258
• 代理人: 陳麗君

技術領域

本實用新型屬于應用于新能源行業，用于切片后輔材的回收利用，具體涉及一種晶棒表面漿料回收的前處理裝置。

背景技術

現有硅片切割后都是用自來水沖洗晶棒，將晶棒表面的漿料沖洗干凈，其表面粘附的漿料約有4-5KG，漿料包括碳化硅和聚乙二醇，沖洗后廢液都進入污水處理站，產生浪費。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有的技術缺點，提供一種晶棒表面漿料回收的前處理裝置，通過本裝置可以對晶棒表面漿料的回收進行前置處理步驟，再進行回收利用，節約了資源，降低了成本，避免了浪費和污染。

為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是：

一種晶棒表面漿料回收的前處理裝置，包括脫膠車、浸泡槽壁和漿料回收桶，所述脫膠車包括車架，所述車架為框架結構，車架底部設有四個車輪，車架頂部設有操作平臺，所述操作平臺上向內凹陷的設有矩形結構的第一凹槽，所述浸泡槽壁固定在操作平臺上，包繞在第一凹槽外部，與第一凹槽結合形成一個完整的浸泡槽，所述浸泡槽的體積為110L；

所述第一凹槽上放液口，放液口通過放液管道與漿料回收桶相連接，所述放液口上設有閥門。

上述一種晶棒表面漿料回收的前處理裝置，其中，所車架上設有扶手。

本實用新型的有益效果為：

通過本實用新型是通過脫膠車改造而成，結構簡單，制作方便，可以對晶棒表面漿料的回收進行前置處理步驟，再進行回收利用，每1噸浸泡液可收集到20%的漿料，其中含有100kg聚乙二醇和100kg碳化硅，節約了資源，降低了成本，避免了浪費和污染。

附圖說明

圖1為本實用新型結構圖。

圖2為本實用新型剖視圖。

圖3為本實用新型浸泡槽剖視圖。

具體實施方式

如圖所示一種晶棒表面漿料回收的前處理裝置，包括脫膠車1、浸泡槽壁2和漿料回收桶3，所述脫膠車1包括車架4，所車架4上設有扶手16，所述車架4為框架結構，車架4底部設有四個車輪5，車架4頂部設有操作平臺6，所述操作平臺6上向內凹陷的設有矩形結構的第一凹槽7，所述浸泡槽壁2固定在操作平臺6上，包繞在第一凹槽7外部，與第一凹槽7結合形成一個完整的浸泡槽8，所述浸泡槽8的體積為110L；

所述第一凹槽7上放液口9，放液口9通過放液管道10與漿料回收桶3相連接，所述放液口9上設有閥門11。

利用本實用新型對晶棒表面漿料回收進行前處理的方法如下：

（1）在浸泡槽中注入50KG的水；

（2）將1刀長度為900mm的含有漿料的晶棒浸沒在水中，5min后將晶棒取出；

（3）重復步驟（2）的操作，此時，晶棒表面漿料中的聚乙二醇溶解在水中，漿料中的碳化硅懸浮在水中，形成渾濁的浸泡液；

（4）24h后，打開晶棒表面漿料回收的前處理裝置的閥門，將浸泡液通過放液管道收集至漿料回收桶中；

（5）重復步驟（1）（2）（3）（4）的操作，直至漿料回收桶中的浸泡液達到1t，此時，將收集到的漿料進行回收處理即可。

通過本實用新型是通過脫膠車改造而成，結構簡單，制作方便，可以對晶棒表面漿料的回收進行前置處理步驟，再進行回收利用，每1噸浸泡液可收集到20%的漿料，其中含有100kg聚乙二醇和100kg碳化硅，節約了資源，降低了成本，避免了浪費和污染。

作為進一步的改進，所述浸泡槽8內設有收放機構12，所述收放機構12包括一塊水平設置的第一濾板13和兩塊垂直固定在第一濾板13兩側的第二濾板14，所述第二濾板14的頂端設有L形結構的折邊15，使用時將晶棒放置在第一濾板上，再將收放機構緩慢放入浸泡槽內，折邊卡接在浸泡槽壁上即可起到固定作用；浸泡結束后，只需將收放機構提起，取出晶棒即可，避免了操作人員直接接觸浸泡液，更加安全可靠。

再進一步的改進，所述浸泡槽壁2可拆卸的固定在操作平臺6上。

這里本實用新型的描述和應用是說明性的，并非想將本實用新型的范圍限制在上述實施例中，因此，本實用新型不受本實施例的限制，任何采用等效替換取得的技術方案均在本實用新型保護的范圍內。