[實用新型]一種硼擴散爐及其爐門

有效

• 申請號: 201520844608.2
• 申請日: 2015-10-28
• 公開（公告）號: CN205088336U
• 公開（公告）日: 2016-03-16
• 發明（設計）人: 胡亞男;戎帥
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: C30B31/00
• 分類號: C30B31/00;H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李海建

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池生產技術領域，更具體地說，涉及一種在太陽能電池生產過程中所用到的硼擴散爐及其爐門。

背景技術

光伏電池(太陽能電池)在制造過程中需要經過擴散工序形成PN結，硼擴散爐是擴散工序所用到的主要生產設備，在硼擴散過程中所用到的擴散源液為三溴化硼，在硼擴散過程中三溴化硼會和石英起化學反應，生成硼硅玻璃，進而造成石英器件的腐蝕，從而縮短了擴散爐中石英器件的使用壽命。

擴散爐的爐門為石英材質，其作用是在擴散工序中封閉擴散爐爐管的一端，以便實現爐管的密封。在擴散過程中爐門的面部會和反應的硼源接觸，久而久之就造成了爐門面上被腐蝕處許多小坑，這些小坑會造成擴散爐的爐門封閉不嚴，致使爐門失去保壓效果，并最終導致光伏電池的質量不合格。

因此，如何能夠避免爐門在擴散工藝中被腐蝕，以便提高爐門的使用壽命是目前本領域技術人員亟需解決的技術問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的之一在于提供一種硼擴散爐門，以便能夠有效避免爐門在擴散工藝中被腐蝕，從而提高爐門的使用壽命。

本實用新型的另一目的在于提供一種具有上述爐門的硼擴散爐。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種硼擴散爐的爐門，包括石英爐門本體，該爐門還包括與所述石英爐門本體的內端面相連，且在所述石英爐門本體關閉時嵌入爐管內的石英擋盤，所述石英擋盤的直徑與所述爐管的直徑相等。

優選地，所述石英擋盤通過石英支撐柱與所述石英爐門本體相連。

優選地，所述石英擋盤通過三根平行設置的石英支撐柱與所述爐門本體相連，且在同一截面內，三根所述石英支撐柱分別位于同一個三角形的三個點上。

優選地，還包括鍍設于所述石英擋盤的端面上的保護膜。

優選地，還包括鍍設于所述石英爐門本體的內端面上的保護膜。

優選地，所述保護膜為氮化硅薄膜。

優選地，所述保護膜為氮化鋁或氧化鈦薄膜。

優選地，所述保護膜的厚度為0.3mm-0.8mm。

本實用新型所公開的硼擴散爐，包括爐門，并且所述爐門為上述任意一項中所公開的爐門。

由于在石英爐門本體的內端面上設置了石英擋盤，該石英擋盤的直徑與爐管的直徑相等，并且在石英爐門本體關閉時該石英擋盤可以嵌入爐管內，因而該石英擋盤可以有效阻止爐管內的硼源與石英爐門本體接觸，大部分的硼源將被石英擋盤阻擋在遠離石英爐門本體的位置，這就減少了硼源與石英爐門本體發生的化學反應，延緩了石英爐門本體被腐蝕的速度，因此也就延長了爐門的使用壽命。

本實用新型中所公開的硼擴散爐由于采用了上述爐門，因此該硼擴散爐兼具上述爐門相應的技術優點，本文中對此不再進行贅述。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例中所提供的爐門的結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例中所提供的爐門的另一角度的結構示意圖；

圖3為圖2中所提供的爐門的俯視示意圖；

圖4為本實用新型實施例中所公開的爐門與爐管的配合示意圖。

其中，

1為石英爐門本體，2為石英擋盤，3為石英支撐柱，4為爐管。

具體實施方式

本實用新型的核心在于提供一種硼擴散爐的爐門，以便能夠有效避免爐門在擴散工藝中被腐蝕，從而提高爐門的使用壽命。

本實用新型的另一核心在于提供一種具有上述爐門的硼擴散爐。

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1至圖4，圖1為本實用新型實施例中所提供的爐門的結構示意圖，圖2為本實用新型實施例中所提供的爐門的另一角度的結構示意圖，圖3為圖2中所提供的爐門的俯視示意圖，圖4為本實用新型實施例中所公開的爐門與爐管的配合示意圖。