[實用新型]一種區(qū)熔單晶爐用錐形保溫桶

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520841552.5
• 申請日: 2015-10-28
• 公開（公告）號: CN205171011U
• 公開（公告）日: 2016-04-20
• 發(fā)明（設計）人: 姚長娟;靳立輝;高樹良;白聰軒;李宇佳;王遵義
• 申請（專利權）人: 天津中環(huán)半導體股份有限公司
• 主分類號: C30B13/00
• 分類號: C30B13/00;C30B29/06
• 代理公司: 天津中環(huán)專利商標代理有限公司 12105
• 代理人: 胡京生

技術領域

本實用新型涉及一種區(qū)熔單晶爐用錐形保溫桶。

背景技術

隨著集成電路等電子領域的不斷發(fā)展，對單晶硅的需求量在不斷增加。為滿足對單晶硅的需求，國內外許多晶體生長廠家紛紛擴大其產量。晶體熱場系統(tǒng)是直拉硅單晶生長設備的核心，所以熱場的優(yōu)劣對單晶硅的質量有著直接影響。在實際生產中我們發(fā)現，硅單晶在區(qū)熔保持的過程中易產生開裂的情況。

區(qū)熔單晶以其高純度，高阻值而被廣泛應用于電力電子領域。但由于巨大的溫度梯度產生的熱應力，對于大直徑區(qū)熔硅單晶要做到晶體完美性和一致性好，對晶體生長設備和晶體生長工藝均是一種巨大的考驗。硅單晶在進行單晶生長時，由于物象的轉化（液相轉化為固相），不斷放出固相潛熱，同時，晶體越拉越長，熔體液面不斷下降，熱量的傳導、輻射等情況都在發(fā)生變化，現有的保溫桶為直筒型，在使用過程中對防止溫度梯度過大效果不明顯，需要改進，特別是CFZ料致密度較差，容易斷裂。

發(fā)明內容

鑒于現有技術存在的問題，本實用新型提供一種上大下小的倒錐形桶體結構，這種桶體結構可以減少CFZ料斷裂情況的發(fā)生。

本實用新型為實現上述目的，所采用的技術方案是：一種區(qū)熔單晶爐用錐形保溫桶，包括桶體、把手、封閉圓環(huán)，其特征在于：所述桶體為上大下小的倒錐形桶體；所述把手上面開有條狀中軸孔；所述封閉圓環(huán)固定于桶體上端的外桶體壁上，把手固定于封閉圓環(huán)上。

本實用新型的有益效果是：采用該保溫桶的設計，能夠有效避免硅單晶在區(qū)熔保持過程中易產生開裂的情況的發(fā)生。結構簡單，可以提高熱場的穩(wěn)定性，延長區(qū)熔爐的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構正視圖；

圖2是本實用新型的結構俯視圖。

具體實施方式

如圖1、2所示，一種單晶爐用錐形保溫桶，包括桶體1、把手2、封閉圓環(huán)3，桶體1為上大下小的倒錐形桶體，采用無氧銅材質制作，桶體1內部為光滑狀桶體；把手2上面開有條狀中軸孔2-1；封閉圓環(huán)3的內徑與桶體1上端口外徑相同，且通過焊接將封閉圓環(huán)3固定于桶體1上端口的外桶體壁上，將把手2通過焊接固定于封閉圓環(huán)3上，完成焊接后通過去毛刺，清除焊渣。

桶體1采用無氧銅材質，無氧銅無氫脆現象，導電率更高，加工性能和焊接性能好。

補充使用方法：此保溫桶在使用時，用螺栓通過把手2上面開有條狀中軸孔2-1與區(qū)熔爐連接，多晶硅棒處于保溫桶的上方，經過高頻熱場的作用多晶硅棒轉化為單晶硅棒，在錐形保溫桶的作用下溫度梯度變化不明顯，以保證單晶硅的產品質量。