[實(shí)用新型]基板支撐設(shè)備所使用的墊片

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520837592.2
• 申請(qǐng)日: 2015-10-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205050818U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-02-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 江慶弘
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 林瑞琮
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 代理公司: 北京匯智英財(cái)專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 11301
• 代理人: 潘光興

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及基板支撐結(jié)構(gòu)的墊件，尤其是一種基板支撐設(shè)備所使用的墊片。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體制造工藝中，必須應(yīng)用基板支撐結(jié)構(gòu)將半導(dǎo)體基板有效地支撐住，以使得該基板的上方可以裸露出來(lái)，以進(jìn)行必要的半導(dǎo)體制造工藝步驟。這類(lèi)型的支撐結(jié)構(gòu)還必須能夠有效地散熱，使得整個(gè)系統(tǒng)可以達(dá)到所需要的制造工藝溫度。

基本上基板支撐結(jié)構(gòu)的架構(gòu)主要包括：一頂板，為一圓形的板狀結(jié)構(gòu)，其包括多個(gè)穿孔，各穿孔的上部向內(nèi)形成一突出部而繞在對(duì)應(yīng)的穿孔的邊緣。該頂板下表面形成一沿著該頂板邊緣延伸的環(huán)狀側(cè)壁。一底板，其為一圓形的板狀結(jié)構(gòu)，位于該頂板下方，該底板上包括多個(gè)環(huán)狀安裝槽，各安裝槽的位置分別對(duì)應(yīng)于該頂板的一穿孔。在安裝狀態(tài)時(shí)，在該頂板的各穿孔下方置入一基板，然后將該頂板以其底部與該環(huán)狀側(cè)壁包覆而收納該底板，并且該頂板與該底板通過(guò)多個(gè)連接件連接，使得該基板位于該頂板及該底板之間。其中，該環(huán)狀側(cè)壁的內(nèi)徑大于該底板的外徑，使得該環(huán)狀側(cè)壁靠近該底板的一側(cè)與該底板的外側(cè)面之間形成間隙。

為了可以在該頂板與該底板之間的空間，有效地隔離該基板下方空間，因此各安裝槽用于安裝一環(huán)狀墊圈。應(yīng)用上述的結(jié)構(gòu)，該環(huán)狀墊圈可以在對(duì)應(yīng)的基板的下方，該底板和該頂板之間形成一大略為密封狀的空間。在進(jìn)行制造工藝步驟時(shí)，該頂板及該基板的溫度會(huì)上升，所以必須有效地降低溫度，以使得整個(gè)制造工藝可以順利地進(jìn)行。

在現(xiàn)有技術(shù)中具有不同型態(tài)的環(huán)狀墊圈設(shè)計(jì)，主要是這些環(huán)狀墊圈的截面型態(tài)不同。可是傳統(tǒng)上環(huán)狀墊圈的截面的型態(tài)并無(wú)法提供較好的密封性，所以影響在制造工藝施作中的效果。

故本申請(qǐng)希望提出一種嶄新的基板支撐設(shè)備所使用的墊片，以解決現(xiàn)有技術(shù)上的缺陷。

實(shí)用新型內(nèi)容

所以本實(shí)用新型的目的為解決上述現(xiàn)有技術(shù)上的問(wèn)題，本實(shí)用新型中提出一種基板支撐設(shè)備所使用的墊片，將一用于基板支撐結(jié)構(gòu)的環(huán)狀墊圈采用截面為X形的架構(gòu)，其可提供較大的彈性，因此可以適應(yīng)周邊的型態(tài)。該X形的四個(gè)邊角分別頂住上下兩端不同的部位，因?yàn)樵摥h(huán)狀墊圈具有相當(dāng)?shù)膹椥裕钥梢酝ㄟ^(guò)該基板支撐結(jié)構(gòu)的頂板及頂板上安裝的對(duì)應(yīng)的基板的重力壓縮，而將該環(huán)狀墊圈適當(dāng)?shù)叵聣海纬删o密狀態(tài)。所以該環(huán)狀墊圈內(nèi)部的密封度較佳。同時(shí)，該X形的下邊的凹槽可增加該環(huán)狀墊圈與該底板之間的真空吸附作用，使該環(huán)狀墊圈不易從該底板上脫離，從而增加固定能力。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種基板支撐設(shè)備所使用的墊片，其為一環(huán)狀墊圈，該環(huán)狀墊圈為一幾近圓形的環(huán)狀空心的條狀結(jié)構(gòu)，該條狀結(jié)構(gòu)的一部分呈筆直狀；其中，不為筆直狀的條狀結(jié)構(gòu)延伸的角度超過(guò)270度；其中，該環(huán)狀墊圈的條狀結(jié)構(gòu)的截面為四邊體，其至少一邊具有下凹結(jié)構(gòu)；因此該下凹結(jié)構(gòu)在該環(huán)狀墊圈的一環(huán)面上形成一凹槽。

其中，該下凹結(jié)構(gòu)為單邊下凹，分別是在上、下、左或右側(cè)。

其中，該下凹結(jié)構(gòu)為雙邊下凹。

其中，在具有下凹結(jié)構(gòu)的兩側(cè)分別形成對(duì)應(yīng)的凹槽。

其中，該下凹結(jié)構(gòu)為四邊均下凹，從而形成近似X形的結(jié)構(gòu)，分別由一中心點(diǎn)向四個(gè)角延伸；所以該環(huán)狀墊圈的上下左右四邊分別形成對(duì)應(yīng)的凹槽；其中，該環(huán)狀墊圈的下邊的凹槽用于增加與其所欲接觸的外部對(duì)象的表面之間的真空吸附作用，從而強(qiáng)化該環(huán)狀墊圈的固定作用。

其中，該環(huán)狀墊圈主要由軟性的材料所構(gòu)成。

其中，該環(huán)狀墊圈主要是使用在一基板支撐結(jié)構(gòu)上，在安裝狀態(tài)下，在該基板支撐結(jié)構(gòu)的頂板上的穿孔下方置入一基板，然后將該頂板以其底部與一環(huán)狀側(cè)壁包覆而收納一底板；將該環(huán)狀墊圈安裝在該底板上的安裝槽中；該基板置于該底板的對(duì)應(yīng)的環(huán)狀墊圈上而夾固于對(duì)應(yīng)的環(huán)狀墊圈與該頂板的對(duì)應(yīng)的穿孔之間。

其中，該下凹結(jié)構(gòu)為四邊均下凹，從而形成近似X形的結(jié)構(gòu)；

在安裝狀態(tài)下，其中，該環(huán)狀墊圈的上部?jī)?nèi)側(cè)頂?shù)钟趯?duì)應(yīng)的基板的下邊緣；該環(huán)狀墊圈的上部外側(cè)頂?shù)钟趯?duì)應(yīng)的穿孔的下邊緣；對(duì)應(yīng)的基板的上邊緣則頂?shù)钟趯?duì)應(yīng)的穿孔上部向內(nèi)形成的突出部；因此該環(huán)狀墊圈與對(duì)應(yīng)的穿孔的突出部將對(duì)應(yīng)的基板夾固于該頂板與該底板之間，并使得對(duì)應(yīng)的基板的上部可裸露出來(lái)，以在對(duì)應(yīng)的基板的上部進(jìn)行必要的操作。

由下文的說(shuō)明可進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的特征及其優(yōu)點(diǎn)，閱讀時(shí)并請(qǐng)參考附圖。

附圖說(shuō)明

圖1：本申請(qǐng)的環(huán)狀墊圈的示意圖。

圖2：本申請(qǐng)的環(huán)狀墊圈的俯視圖。

圖3：本申請(qǐng)的環(huán)狀墊圈的仰視圖。

圖4：本申請(qǐng)的環(huán)狀墊圈的前視圖。

圖5：本申請(qǐng)的環(huán)狀墊圈的后視圖。

圖6：本申請(qǐng)的環(huán)狀墊圈的左視圖。